Семиерабо сарбаландй шинос мекунад4" Субстратҳои оксиди галлий, маводи навоварест, ки барои қонеъ кардани талаботи афзояндаи дастгоҳҳои нимноқилҳои сермахсул сохта шудааст. Оксиди галий (Га2O3) субстратҳо фосилаи ултра васеъро пешниҳод мекунанд, ки онҳоро барои насли оянда электроникаи барқ, оптоэлектроникаи ултрабунафш ва дастгоҳҳои басомади баланд беҳтарин мегардонанд.
Хусусиятҳои асосӣ:
• Банди ултра-васеъ: Дар4" Субстратҳои оксиди галлийбо фарогирии тақрибан 4,8 эВ фахр мекунад, ки ба таҳаммулпазирии фавқулоддаи шиддат ва ҳарорат имкон медиҳад ва аз маводи анъанавии нимноқилҳо ба монанди кремний ба таври назаррас бартарӣ медиҳад.
•Шиддати баланди шикаста: Ин субстратҳо ба дастгоҳҳо имкон медиҳанд, ки бо шиддат ва қудрати баландтар кор кунанд ва онҳоро барои барномаҳои баландшиддат дар электроникаи барқ комил созанд.
•Устувории олии гармӣ: Субстратҳои оксиди галлиум гузаронандагии аълои гармиро пешниҳод мекунанд, ки иҷрои мӯътадилро дар шароити шадид таъмин мекунанд, ки барои истифода дар муҳитҳои серталаб беҳтаринанд.
•Сифати моддии баланд: Бо зичии ками нуқсонҳо ва сифати баланди кристалл, ин субстратҳо кори боэътимод ва пайвастаро таъмин намуда, самаранокӣ ва устувории дастгоҳҳои шуморо баланд мебардоранд.
•Барномаи универсалӣ: Муносиб барои доираи васеи барномаҳо, аз ҷумла транзисторҳои барқ, диодҳои Schottky ва дастгоҳҳои LED UV-C, имкон медиҳад, ки навовариҳо ҳам дар соҳаҳои энергетикӣ ва ҳам оптоэлектронӣ.
Бо ширкати Semicera ояндаи технологияи нимноқилҳоро омӯзед4" Субстратҳои оксиди галлий. Субстратҳои мо барои дастгирии барномаҳои пешрафтатарин тарҳрезӣ шудаанд, ки эътимоднокӣ ва самаранокиро барои дастгоҳҳои муосири муосир таъмин мекунанд. Ба Semicera барои сифат ва навоварӣ дар маводи нимноқилҳои худ эътимод кунед.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастабандии кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
