Усули PART/1CVD (Таврезии буғи кимиёвӣ): Дар ҳарорати 900-2300 ℃, бо истифода аз TaCl5 ва CnHm ҳамчун тантал ва манбаи карбон, H₂ ҳамчун коҳишдиҳандаи атмосфера, гази интиқолдиҳандаи Ar₂as, филми таҳшиншавии реаксия.Сарпӯши омодашуда паймон, якхела ва тозагии баланд аст.Бо вуҷуди ин, баъзе мушкилот вуҷуд доранд ...
Бештар