Соплоҳои карбиди кремнийдар истехсоли нимнокилхои электронй роли калон мебозад.Онҳо дастгоҳе мебошанд, ки барои пошидани моеъҳо ё газҳо истифода мешаванд, ки аксар вақт барои коркарди кимиёвии тар дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд.Сопло Sic бартариҳои муқовимат ба ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ ва фарсудашавӣ дорад, аз ин рӯ он дар саноати истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ васеъ истифода мешавад.
Дар истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ,соплохои карбиди кремнийаксар вақт дар равандҳои пӯшиш ва тозакунӣ истифода мешаванд.Масалан, дар раванди фотолитография, як сопло карбиди кремний барои пошидани маҳлули фоторезистӣ ба вафли кремний барои ба вуҷуд овардани як шакли хуб истифода мешавад.Азбаски сопло карбиди кремний дорои хусусиятҳои пошидани якхела аст, он метавонад тақсимоти якхелаи фоторезистро дар рӯи пласти кремний таъмин кунад ва ба ин васила самаранокии истеҳсолот ва сифати маҳсулотро беҳтар кунад.
Дар Илова,соплохои карбиди кремнийаксар вақт дар равандҳои тозакунӣ истифода мешаванд.Ҳангоми истеҳсоли нимноқилҳо вафли кремнийро барои тоза кардани ифлосиҳо ва ифлоскунандаҳои рӯизаминӣ тоза кардан лозим аст.Соплоҳои карбиди кремний метавонанд тавассути пошидани ҳавои баландсуръат ё маҳлулҳои кимиёвӣ, тоза кардани ифлоскунандаҳо ва баланд бардоштани эътимоднокӣ ва устувории раванди истеҳсолот сатҳи вафли кремнийро тоза кунанд.
Барои корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ интихоби дурусти сопло аз карбиди кремний хеле муҳим аст.Пеш аз хама, басопло карбиди кремнийбарои муқовимат бо муҳити ҳарорати баланд дар раванди истеҳсолот бояд муқовимат ба ҳарорати хеле баланд дошта бошад.Сониян, муқовимат ба зангзанӣ низ муҳим аст, зеро дар раванди истеҳсолӣ баъзе моддаҳои кимиёвӣ, аз қабили кислотаҳо ва асосҳои қавӣ истифода мешаванд.Илова бар ин, муқовимат ба фарсудашавӣ низ ба назар гирифта мешавад, зеро сопло ҳангоми истифода ба сурхшавӣ ва фарсудашавӣ дучор мешавад.
Барои беҳтар кардани кори соплоҳои карбиди кремний, истеҳсолкунандагон одатан баъзе усулҳои пешрафтаи истеҳсолиро истифода мебаранд.Масалан, соплохо аз материалхои карбиди кремнийи тозаи баланд сохта шудаанд, то ки устувории хосиятхои физикию химиявии онхо таъмин карда шаванд.Илова бар ин, тавассути коркарди дақиқ ва коркарди рӯизаминӣ, таъсири пошидан ва мӯҳлати хизмати сопло карбиди кремний беҳтар карда мешавад.
Хулоса, соплоҳои карбиди кремний дар истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ нақши муҳим доранд.Онҳо бартариҳои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ ва фарсудашавӣ доранд ва метавонанд дар равандҳои коркарди моеъ ё газ истифода шаванд.Корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ бояд соплоҳои дурусти карбиди кремнийро интихоб кунанд ва технологияи пешрафтаи истеҳсолиро барои баланд бардоштани самаранокии раванди истеҳсолот ва сифати маҳсулот қабул кунанд.
Соплоҳои карбиди кремний дар истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ нақши муҳим доранд.Онҳо бартариҳои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ ва фарсудашавӣ доранд ва метавонанд дар равандҳои коркарди моеъ ё газ истифода шаванд.Дар раванди фотолитография сопло карбиди кремний метавонад маҳлули фоторезистиро ба вафли кремний баробар пошида, самаранокии истеҳсолот ва сифати маҳсулотро беҳтар созад.Дар раванди тозакунӣ, соплоғи карбиди кремний метавонад сатҳи пласти кремнийро тавассути пошидани ҷараёни ҳавои баландсуръат ё пошидани маҳлули кимиёвӣ тоза кунад, ифлоскунандаҳоро тоза кунад ва эътимоднокӣ ва устувории раванди истеҳсолиро беҳтар кунад.Корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳои электронӣ бояд соплоҳои дурусти карбиди кремнийро интихоб кунанд ва технологияи пешрафтаи истеҳсолиро барои баланд бардоштани самаранокии раванди истеҳсолот ва сифати маҳсулот қабул кунанд.
Вақти интишор: Декабр-26-2023