Семиерабо камоли майл пешниход мекунад2" Субстратҳои оксиди галлий, маводи пешқадам, ки барои баланд бардоштани самаранокии дастгоҳҳои пешрафтаи нимноқил пешбинӣ шудааст. Ин субстратҳо, ки аз оксиди галлий (Ga2O3), дорои фосилаи ултра-васеъ мебошад, ки онҳоро барои барномаҳои оптоэлектроникии иқтидори баланд, басомади баланд ва ултрабунафш интихоби беҳтарин месозад.
Хусусиятҳои асосӣ:
• Банди ултра-васеъ: Дар2" Субстратҳои оксиди галлийфосилаи барҷастаи тақрибан 4,8 эВро таъмин мекунад, ки имкон медиҳад, ки шиддат ва ҳарорати баландтар кор кунад, ки аз имконоти маводҳои анъанавии нимноқилӣ ба монанди кремний хеле зиёдтар аст.
•Шиддати истисноии шикаста: Ин субстратҳо ба дастгоҳҳо имкон медиҳанд, ки шиддатҳои хеле баландтарро идора кунанд ва онҳоро барои электроникаи барқӣ, махсусан дар барномаҳои баландшиддат комил месозад.
•Қобилияти гармидиҳии аъло: Бо устувории гармии олӣ, ин субстратҳо ҳатто дар муҳити гармии шадид кори доимиро нигоҳ медоранд, ки барои барномаҳои пуриқтидор ва ҳарорати баланд мувофиқанд.
•Материали баландсифат: Дар2" Субстратҳои оксиди галлийзичии ками нуқсонҳо ва сифати баланди кристаллро пешниҳод намуда, кори боэътимод ва самараноки дастгоҳҳои нимноқилҳои шуморо таъмин мекунад.
•Барномаҳои гуногунҷабҳа: Ин субстратҳо барои як қатор барномаҳо мувофиқанд, аз ҷумла транзисторҳои барқӣ, диодҳои Шоттки ва дастгоҳҳои LED UV-C, ки барои навовариҳои нерӯи барқ ва оптоэлектронӣ заминаи мустаҳкам пешниҳод мекунанд.
Потенсиали пурраи дастгоҳҳои нимноқилҳои худро бо Semicera кушоед2" Субстратҳои оксиди галлий. Субстратҳои мо барои қонеъ кардани ниёзҳои серталаби барномаҳои пешрафтаи имрӯза тарҳрезӣ шудаанд ва иҷрои баланд, эътимоднокӣ ва самаранокиро таъмин мекунанд. Барои маводи муосири нимноқил, ки навовариҳоро пеш мебаранд, Semicera-ро интихоб кунед.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастаи кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
