Қабати оксиди гармии вафли кремний як қабати оксид ё қабати кремний мебошад, ки дар сатҳи урёни вафли кремний дар шароити ҳарорати баланд бо агенти оксидкунанда ба вуҷуд омадааст.Қабати оксиди гармии вафли кремний одатан дар як кӯраи қубури уфуқӣ парвариш карда мешавад ва диапазони ҳарорати афзоиш одатан 900 ° C ~ 1200 ° C аст ва ду намуди афзоиши "оксидшавии тар" ва "оксидшавии хушк" мавҷуданд. Қабати оксиди гармӣ як қабати оксиди "рӯёндашуда" мебошад, ки нисбат ба қабати оксиди пошидашудаи CVD якхелаӣ ва қувваи диэлектрикии баландтар дорад. Қабати оксиди гармӣ як қабати аълои диэлектрикӣ ҳамчун изолятор мебошад. Дар бисёре аз дастгоҳҳои бар кремний асосёфта қабати оксиди гармӣ ҳамчун қабати блоки допинг ва диэлектрики рӯизаминӣ нақши муҳим мебозад.
Маслиҳатҳо: навъи оксидшавӣ
1. Оксидшавии хушк
Кремний бо оксиген реаксия мекунад ва қабати оксид ба қабати базалӣ ҳаракат мекунад. Оксидшавии хушк бояд дар ҳарорати аз 850 то 1200 ° C гузаронида шавад ва суръати афзоиш паст аст, ки онро барои афзоиши дарвозаи изолятсияи MOS истифода бурдан мумкин аст. Вақте ки қабати баландсифати оксиди кремний талаб карда мешавад, оксидшавии хушк нисбат ба оксидшавии тар афзалтар аст.
Иқтидори оксидшавии хушк: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Оксидшавии тар
Ин усул омехтаи гидроген ва оксигени тозаро истифода мебарад, то дар ~ 1000 ° C сӯзонад ва ба ин васила буғи обро ба вуҷуд меорад, ки қабати оксидиро ташкил медиҳад. Гарчанде ки оксидшавии тар метавонад ҳамчун қабати оксидшавии сифати баланд ба мисли оксидшавии хушк тавлид нашавад, аммо кофӣ барои ҳамчун минтақаи изолятсия истифодашаванда, нисбат ба оксидшавии хушк бартарии равшани он аст, ки он суръати баландтари афзоиш дорад.
Иқтидори оксидшавии тар: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Усули хушк - усули тар - усули хушк
Дар ин усул оксигени тозаи хушк дар марҳилаи ибтидоӣ ба кӯраи оксидшавӣ бароварда мешавад, дар мобайни оксидшавӣ гидроген илова карда мешавад ва дар охир гидроген нигоҳ дошта мешавад, то оксигенро бо оксигени тозаи хушк идома дода, сохтори оксидшавии зичтарро ташкил диҳад. раванди маъмулии оксидшавии тар дар шакли буғи об.
4. Оксидшавии TEOS
| Техникаи оксидшавӣ | Оксидшавии тар ё оксидшавии хушк |
| Диаметр | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Ғафсии оксид | 100 Å ~ 15µm |
| Таҳаммулпазирӣ | +/- 5% |
| Сатҳи | Оксидшавии яктарафа (SSO) / Оксидшавии дуҷониба (DSO) |
| Танӯр | Танӯри қубурҳои уфуқӣ |
| Газ | Гидроген ва гази оксиген |
| Ҳарорат | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Индекси рефрактивӣ | 1.456 |
