СемиераҚабати сафолии кремний карбидияк қабати муҳофизатии баландсифат аст, ки аз маводи хеле сахт ва ба фарсуда тобовар карбиди кремний (SiC) сохта шудааст. Дар молидани аст, одатан дар рӯи оксиген тавассути CVD ё раванди PVD бо гузоштазаррачахои карбиди кремний, таъмини муқовимати аъло ба зангзании кимиёвӣ ва устувории ҳарорати баланд. Аз ин рӯ, қабати керамикии силикон карбиди дар ҷузъҳои асосии таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо васеъ истифода мешавад.
Дар истеҳсоли нимноқилҳо,Сарпӯши SiCметавонад ба ҳарорати бениҳоят баланди то 1600 ° C тоб оварад, аз ин рӯ Coating Ceramic Silicon Carbide аксар вақт ҳамчун қабати муҳофизатӣ барои таҷҳизот ё асбобҳо барои пешгирии осеб дар ҳарорати баланд ё муҳити зангзананда истифода мешавад.
Ҳамзамон,молидани сафолии карбиди кремнийметавонад ба эрозияи кислотаҳо, сілтҳо, оксидҳо ва дигар реагентҳои химиявӣ тобовар бошад ва ба зангзании гуногун тобовар аст. Аз ин рӯ, ин маҳсулот барои муҳитҳои гуногуни зангзананда дар саноати нимноқилҳо мувофиқ аст.
Гузашта аз ин, дар муқоиса бо дигар маводи сафолӣ, SiC дорои гармии баландтар аст ва метавонад гармиро самаранок гузаронад. Ин хусусият муайян мекунад, ки дар равандҳои нимноқил, ки назорати дақиқи ҳароратро талаб мекунанд, гармии баланди гузаронандҚабати сафолии кремний карбидибарои баробар пахн кардани гармй, пешгирй кардани гармшавии махаллй ва таъмин намудани дар харорати оптималй кор кардани дастгох ёрй мерасонад.
| Хусусиятҳои асосии физикии рӯйпӯши CVD | |
| Амвол | Арзиши маъмулӣ |
| Сохтори кристаллӣ | FCC фазаи β поликристаллӣ, асосан (111) нигаронида шудааст |
| Зичии | 3,21 г/см³ |
| Сахтӣ | 2500 сахтии Vickers (500g бор) |
| Андозаи гандум | 2 ~ 10 мкм |
| Тозагии химиявӣ | 99.99995% |
| Иқтидори гармӣ | 640 Йкг-1· К-1 |
| Ҳарорати сублиматсия | 2700℃ |
| Қувваи флексия | 415 МПа ҶТ 4-нуқта |
| Модули ҷавон | 430 Gpa 4pt хам, 1300 ℃ |
| Кобилияти гармигузаронӣ | 300Вт·м-1· К-1 |
| Тавсеаи гармидиҳӣ (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
