Solid SiC Focus Ring аз Semicera як ҷузъи муосирест, ки барои қонеъ кардани талаботи истеҳсоли пешрафтаи нимноқилҳо пешбинӣ шудааст. Аз тозагии баланд сохта шудаастКарбиди кремний (SiC), ин ҳалқаи фокус барои доираи васеи барномаҳо дар саноати нимноқилҳо, махсусан дарРавандҳои CVD SiC, пошидани плазма ваICPRIE (Эттинги ионҳои реактивии плазмаи ба таври индуктивӣ пайвастшуда). Он бо муқовимати истисноии фарсудашавӣ, устувории баланди гармӣ ва тозагии худ маълум аст, он кори дарозмуддатро дар муҳити фишори баланд таъмин мекунад.
Дар нимноқилвафликоркард, Сахти SiC Фокус ҳалқаҳо дар нигоҳ доштани etching дақиқ дар давоми etching хушк ва вафли замимаҳои etching муҳим мебошанд. Ҳалқаи фокусии SiC ба тамаркузи плазма дар ҷараёни равандҳо, ба монанди амалиёти мошини плазмаи плазма кӯмак мекунад ва онро барои буридани вафли кремний ҳатмӣ мекунад. Маводи сахти SiC муқовимати беҳамторо ба эрозия пешниҳод мекунад, умри дарози таҷҳизоти шуморо таъмин мекунад ва вақти бекориро кам мекунад, ки барои нигоҳ доштани қобилияти баланд дар истеҳсоли нимноқилҳо муҳим аст.
Solid SiC Focus Ring аз Semicera барои муқовимат ба ҳароратҳои шадид ва кимиёвии хашмгин, ки одатан дар саноати нимноқилҳо дучор мешаванд, сохта шудааст. Он махсус барои истифода дар вазифаҳои дақиқи баланд, ба монандиСарпӯшҳои CVD SiC, ки дар он чо покизагй ва устуворй дар мадди аввал меистад. Бо муқовимати аъло ба зарбаи гармӣ, ин маҳсулот кори доимӣ ва устуворро дар шароити сахттарин, аз ҷумла дучоршавӣ ба ҳарорати баланд таъмин мекунад.вафлиравандҳои пошидан.
Дар барномаҳои нимноқилҳо, ки дар он дақиқӣ ва эътимод калидӣ мебошанд, Solid SiC Focus Ring дар баланд бардоштани самаранокии умумии равандҳои кандакорӣ нақши муҳим мебозад. Тарҳрезии мустаҳкам ва баландсифати он онро интихоби беҳтарин барои соҳаҳое месозад, ки ҷузъҳои тозагии баландро талаб мекунанд, ки дар шароити шадид кор мекунанд. Новобаста аз он ки дарҳалқаи CVD SiCБарномаҳо ё ҳамчун як қисми раванди коркарди плазма, Ring Solid SiC Focus Semicera барои оптимизатсия кардани кори таҷҳизоти шумо кӯмак мекунад ва дарозумрӣ ва эътимоднокии равандҳои истеҳсолии шуморо пешниҳод мекунад.
Хусусиятҳои асосӣ:
• Муқовимат ба фарсудашавии олӣ ва устувории гармии баланд
• Маводи сахти SiC-и баландсифат барои умри дароз
• Беҳтарин барои etching плазма, ICP RIE, ва барномаҳои etching хушк
• Комил барои вафель, махсусан дар равандҳои CVD SiC
• Иҷрои боэътимод дар муҳити шадид ва ҳарорати баланд
• Дақиқӣ ва самаранокиро дар вафли кремний таъмин мекунад
Барномаҳо:
• Равандҳои CVD SiC дар истеҳсоли нимноқилҳо
• Системаҳои etching плазма ва ICP RIE
• Равандҳои etching хушк ва вафли
• Эттинг ва таҳшин дар мошинҳои плазма
• Ҷузъҳои дақиқ барои ҳалқаҳои вафли ва ҳалқаҳои CVD SiC
Морфологияи микроскопии сатҳи CVD SiC
Морфологияи микроскопии буридани CVD SiC
