Вафли карбиди кремнийҳамчун ашёи хом аз хокаи кремнийи тозагии баланд ва хокаи карбиди баланд сохта шудааст ва кристалл карбиди кремний бо усули интиқоли буғи физикӣ (PVT) парвариш карда мешавад ва бавафли карбиди кремний.
① Синтези ашёи хом.Хокаи кремнийи тозагии баланд ва хокаи карбонии тозагӣ мувофиқи таносуби муайян омехта карда шуданд ва зарраҳои карбиди кремний дар ҳарорати баланд аз 2,000 ℃ синтез карда шуданд.Пас аз майда кардан, тоза кардан ва дигар равандҳо ашёи хоми тозагии баландсифати кремнийи карбиди, ки ба талаботи афзоиши кристалл мувофиқат мекунанд, омода карда мешаванд.
② Афзоиши кристалл.Бо истифода аз хокаи баландсифати SIC ҳамчун ашёи хом, кристалл бо усули интиқоли буғи физикӣ (PVT) бо истифода аз кӯраи рушди кристаллии худ таҳияшуда парвариш карда шуд.
③ коркарди анбор.Губори булӯри карбиди кремний ба воситаи ориентатори монокристалии рентгенӣ ориентация карда шуда, сипас хок ва ғелонда шуд ва ба кристали карбиди кремнийи диаметри стандартӣ коркард карда шуд.
④ Буридани кристалл.Бо истифода аз тачхизоти буридани бисёрхат, кристаллхои карбиди кремний ба варакхои тунуки гафсии на бештар аз 1мм бурида мешаванд.
⑤ Суфтакунии чип.Вафли ба ҳамворӣ ва ноҳамвории дилхоҳ тавассути моеъҳои суфтакунандаи алмоси андозаи зарраҳои гуногун хок карда мешавад.
⑥ Пардохти чип.Карбиди силикии сайқалёфта бидуни осеби рӯизаминӣ тавассути сайқал додани механикӣ ва сайқал додани механикии химиявӣ ба даст оварда шудааст.
⑦ Муайянкунии чип.Микроскопи оптикӣ, дифрактометри рентгенӣ, микроскопи қувваи атомӣ, санҷандаи муқовимати бетараф, санҷиши ҳамвории сатҳ, санҷиши ҳамаҷонибаи нуқсони сатҳ ва дигар асбобҳо ва таҷҳизотро барои муайян кардани зичии микротубулҳо, сифати кристалл, ноҳамвории сатҳ, муқовимат, каҷшавӣ, каҷшавӣ, тағирёбии ғафсӣ, харошидан сатҳи ва дигар параметрҳои вафли карбиди кремний.Мувофики ин дарачаи сифати чип муайян карда мешавад.
⑧ Тоза кардани чип.Лавҳаи сайқалдиҳии карбиди кремний бо агенти тозакунӣ ва оби соф тоза карда мешавад, то моеъи боқимондаи сайқалдиҳанда ва дигар лойҳои рӯизаминиро дар варақи сайқалдиҳӣ тоза кунад ва сипас вафли бо нитроген ва мошини хушккунии ултра-баланд тоза карда шавад;Вафли дар қуттии варақи тоза дар як камераи хеле тоза ҷойгир карда шудааст, то вафли карбиди кремнийи барои истифода омодаи поёнобро ташкил диҳад.
Чӣ қадаре ки андозаи чип калонтар бошад, афзоиши кристалл ва технологияи коркарди мувофиқ ҳамон қадар мушкилтар аст ва самаранокии истеҳсоли дастгоҳҳои поёноб ҳамон қадар арзиши воҳид камтар мешавад.
Вақти фиристодан: Ноябр-24-2023