Хусусиятҳои асосӣ:
1. Муқовимати оксидшавии ҳарорати баланд:
муқовимати оксидшавӣ ҳанӯз ҳам хеле хуб аст, вақте ки ҳарорат то 1600 С баланд аст.
2. Тозагии баланд: аз ҷониби таҳшиншавии буғи кимиёвӣ дар ҳолати хлоризатсияи ҳарорати баланд.
3. Муқовимати эрозия: сахтии баланд, сатҳи паймон, зарраҳои хуб.
4. Муқовимат ба зангзанӣ: кислота, сілтӣ, намак ва реагентҳои органикӣ.
Мушаххасоти асосииСарпӯши CVD-SIC
| Хусусиятҳои SiC-CVD | ||
| Сохтори кристаллӣ | Марҳилаи β FCC | |
| Зичӣ | г/см ³ | 3.21 |
| Сахтӣ | Сахтии Викерс | 2500 |
| Андозаи ғалла | мкм | 2~10 |
| Тозагии химиявӣ | % | 99.99995 |
| Иқтидори гармӣ | J·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Ҳарорати сублиматсия | ℃ | 2700 |
| Қувваи Felexural | МПа (RT 4-нуқта) | 415 |
| Модули ҷавон | Gpa (4pt хам, 1300 ℃) | 430 |
| Тавсеаи гармидиҳӣ (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Қобилияти гармидиҳӣ | (Вт/мК) | 300 |
