Ваферҳои 8 дюймаи N-намуди SiC Semicera дар сафи пеши навовариҳои нимноқил қарор доранд ва барои таҳияи дастгоҳҳои электронии баландсифат заминаи мустаҳкам фароҳам меоранд. Ин пластинкаҳо барои қонеъ кардани талаботи ҷиддии замимаҳои электронии муосир, аз электроникаи барқ то схемаҳои баландбасомад тарҳрезӣ шудаанд.
Допинги навъи N дар ин вафлиҳои SiC гузариши барқии онҳоро беҳтар мекунад ва онҳоро барои доираи васеи барномаҳо, аз ҷумла диодҳои барқ, транзисторҳо ва пурқувваткунандаҳо беҳтарин месозад. Ноқилияти олӣ талафоти ҳадди ақали энергия ва кори самаранокро таъмин мекунад, ки барои дастгоҳҳое, ки дар басомадҳои баланд ва сатҳи нерӯ кор мекунанд, муҳиманд.
Semicera усулҳои пешрафтаи истеҳсолиро барои истеҳсоли вафли SiC бо якрангии истисноии рӯизаминӣ ва камбудҳои кам истифода мебарад. Ин сатҳи дақиқ барои барномаҳое муҳим аст, ки иҷрои пайваста ва устувориро талаб мекунанд, ба монанди дар соҳаи аэрокосмос, мошинсозӣ ва телекоммуникатсионӣ.
Ворид кардани вафли 8 дюймаи N-намуди SiC Semicera ба хати истеҳсолии шумо барои эҷоди ҷузъҳое, ки ба муҳити сахт ва ҳарорати баланд тоб оварда метавонанд, замина фароҳам меорад. Ин вафлиҳо барои барномаҳо дар табдилдиҳии нерӯ, технологияи RF ва дигар соҳаҳои серталаб комил мебошанд.
Интихоби 8 дюймаи N-намуди SiC Wafers Semicera маънои сармоягузорӣ ба маҳсулотеро дорад, ки илмҳои баландсифатро бо муҳандисии дақиқ муттаҳид мекунад. Semicera ӯҳдадор аст, ки имкониятҳои технологияҳои нимноқилро пеш барад ва қарорҳоеро пешниҳод кунад, ки самаранокӣ ва эътимоднокии дастгоҳҳои электронии шуморо баланд бардоранд.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастаи кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
