19 дона қисмҳои таҷҳизоти MOCVD пойгоҳи графити 2 дюйм

Тавсифи кӯтоҳ:

Муқаддима ва истифодаи маҳсулот: 19 дона субстрати 2 вақтро барои афзоиши филми амиқи эпитаксиалии ултрабунафш LED ҷойгир кунед

Ҷойгиршавии дастгоҳи маҳсулот: дар камераи реаксия, дар тамоси мустақим бо вафли

Маҳсулоти асосии поёноб: микросхемаҳои LED

Бозори асосии ниҳоӣ: LED


Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Тавсифи

Ширкати мо таъмин менамоядСарпӯши SiCкоркарди хидматҳо бо усули CVD дар рӯи графит, сафол ва дигар маводҳо, то ки газҳои махсуси дорои карбон ва кремний дар ҳарорати баланд реаксия карда, молекулаҳои SiC-и баланд, молекулаҳоеро, ки дар рӯи маводи пӯшонидашуда ҷойгир шудаанд, ба даст оранд.Қабати муҳофизатии SiC.

Хусусиятҳои асосӣ

1. Муқовимати оксидшавии ҳарорати баланд:
муқовимати оксидшавӣ ҳанӯз ҳам хеле хуб аст, вақте ки ҳарорат то 1600 С баланд аст.
2. тозагии баланд: дод аз ҷониби таҳшин бухори кимиёвӣ дар шароити chlorination ҳарорати баланд.
3. Муқовимати эрозия: сахтии баланд, сатҳи паймон, зарраҳои хуб.
4. Муқовимат ба зангзанӣ: кислота, сілтӣ, намак ва реагентҳои органикӣ.

Мушаххасоти асосии CVD-SIC Coating

Хусусиятҳои SiC-CVD
Сохтори кристаллӣ Марҳилаи β FCC
Зичии г/см ³ 3.21
Сахтӣ Сахтии Викерс 2500
Андозаи ғалла мкм 2~10
Тозагии химиявӣ % 99.99995
Иқтидори гармӣ J·кг-1 ·К-1 640
Ҳарорати сублиматсия 2700
Қувваи Felexural МПа (RT 4-нуқта) 415
Модули ҷавон Gpa (4pt хам, 1300 ℃) 430
Тавсеаи гармидиҳӣ (CTE) 10-6К-1 4.5
Қобилияти гармидиҳӣ (Вт/мК) 300
19 дона қисмҳои таҷҳизоти MOCVD пойгоҳи графити 2 дюйм

Таҷҳизот

дар бораи

Ҷои кори нимҷазира
Ҷои кори нимҷазира 2
Мошини таҷҳизот
коркарди CNN, тозакунии кимиёвӣ, молидани CVD
Хонаи анбори нимҷазира
Хидмати мо

  • гузашта:
  • Баъдӣ: