Дасти коркарди вафельтаҷҳизоти калидӣ мебошад, ки дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо барои коркард, интиқол ва ҷойгиркунӣ истифода мешавадвафельхо. Он одатан аз як бозуи роботӣ, дастпӯшак ва системаи идоракунӣ иборат аст, ки дорои қобилияти дақиқи ҳаракат ва ҷойгиршавӣ мебошад.Вафли муомилоти дастҳодар риштаҳои гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо ба таври васеъ истифода мешаванд, аз ҷумла марҳилаҳои раванд, аз қабили боркунии вафли, тозакунӣ, рехтани филми тунук, афшорӣ, литография ва санҷиш. Қобилиятҳои дақиқ, эътимоднокӣ ва автоматикунонии он барои таъмини сифат, самаранокӣ ва пайвастагии раванди истеҳсолот муҳиманд.
Вазифаҳои асосии дастгоҳи коркарди вафель иборатанд аз:
1. Интиқоли вафли: Дастаи коркарди вафли қодир аст, ки вафлиҳоро аз як макон ба ҷои дигар интиқол диҳад, ба монанди гирифтани вафли аз рахи нигоҳдорӣ ва ҷойгир кардани онҳо дар дастгоҳи коркард.
2. Ҷойгиркунӣ ва ориентация: Дастаи коркарди вафли қодир аст, ки вафлиро дақиқ ҷойгир ва ориентация кунад, то мувофиқат ва мавқеъи дурустро барои амалиёти минбаъдаи коркард ё андозагирӣ таъмин кунад.
3. Гирифтан ва озод кардан: Дастакҳои коркарди вафли маъмулан бо гирпперҳо муҷаҳҳаз мебошанд, ки метавонанд вафлиҳоро бехатар часпонанд ва ҳангоми зарурат онҳоро озод кунанд, то интиқол ва коркарди вафли бехатарро таъмин кунанд.
4. Назорати автоматикунонидашуда: Дастаи коркарди вафли бо системаи пешрафтаи назорат муҷаҳҳаз шудааст, ки метавонад пайдарпайии амалҳои пешакӣ муайяншударо ба таври худкор иҷро кунад, самаранокии истеҳсолотро беҳтар кунад ва хатогиҳои инсониро коҳиш диҳад.
Хусусиятҳо ва афзалиятҳо
1. Андозаҳои дақиқ ва устувории гармӣ.
2.High сахтгирї мушаххас ва якрангии гармии аъло, истифодаи дарозмуддат аст, осон ба хам деформатсияи нест.
3.Он сатҳи ҳамвор ва муқовимати фарсудашавии хуб дорад, бинобар ин, чипро бе ифлосшавии зарраҳо бехатар идора мекунад.
4.Муқовимати карбиди кремний дар 106-108Ω, ғайримагнитӣ, мувофиқи талаботи мушаххасоти зидди ESD; Он метавонад ҷамъшавии нерӯи статикиро дар рӯи чип пешгирӣ кунад.
5.Good гузаронандагии гармидиҳӣ, коэффисиенти тавсеаи паст.
