Semicera муаррифӣ мекунадИнтиқолдиҳандаи кассетаи вафли, ҳалли муҳим барои коркарди бехатар ва самараноки пластинҳои нимноқилӣ. Ин интиқолдиҳанда барои қонеъ кардани талаботи қатъии саноати нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст, ки муҳофизат ва якпорчагии вафли шуморо дар тамоми раванди истеҳсолот таъмин мекунад.
Хусусиятҳои асосӣ:
•Сохтмони мустаҳкам:ДарИнтиқолдиҳандаи кассетаи вафлиаз масолеҳи баландсифат ва пойдор сохта шудааст, ки ба сахтиҳои муҳити нимноқил тоб оварда, муҳофизати боэътимодро аз ифлосшавӣ ва осеби ҷисмонӣ таъмин мекунад.
•Ҳамоҳангсозии дақиқ:Ин интиқолдиҳанда барои ҳамоҳангсозии дақиқи вафли тарҳрезӣ шуда, кафолат медиҳад, ки вафлиҳо дар ҷои бехатар нигоҳ дошта шаванд ва хатари номувофиқӣ ё вайроншавӣ ҳангоми интиқол кам карда шавад.
•Муносибати осон:Интиқолдиҳанда ба таври эргономикӣ барои осонии истифода тарҳрезӣ шудааст, раванди боркунӣ ва борфарориро содда мекунад ва самаранокии ҷараёни корро дар муҳити тозаи ҳуҷра беҳтар мекунад.
•Мутобиқат:Бо доираи васеи андозаҳо ва навъҳои вафли мувофиқ буда, онро барои эҳтиёҷоти гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо универсалӣ месозад.
Бо Semicera's муҳофизат ва роҳати беҳамторо эҳсос кунедИнтиқолдиҳандаи кассетаи вафли. Интиқолдиҳандаи мо барои қонеъ кардани стандартҳои баландтарини истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст ва кафолат медиҳад, ки вафли шумо аз аввал то ба охир дар ҳолати пок нигоҳ дорад. Ба Semicera бовар кунед, ки сифат ва эътимодеро, ки барои равандҳои муҳимтарини шумо лозим аст, таъмин кунад.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастабандии кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
