Semicera пешқадамро пешниҳод мекунадИнтиқолдиҳандагони вафли, барои таъмини муҳофизати олӣ ва интиқоли бефосилаи пластинкаҳои нимноқилҳои нозук дар марҳилаҳои гуногуни раванди истеҳсолӣ тарҳрезӣ шудааст. моИнтиқолдиҳандагони вафлиБарои қонеъ кардани талаботи қатъии истеҳсоли нимноқилҳои замонавӣ ба таври дақиқ тарҳрезӣ шуда, якпорчагӣ ва сифати вафли шуморо ҳамеша нигоҳ медорад.
Хусусиятҳои асосӣ:
• Сохтмони маводҳои олӣ:Аз маводи баландсифат ва ба ифлосшавӣ тобовар сохта шудааст, ки устуворӣ ва дарозмуддатро кафолат медиҳанд ва онҳоро барои муҳити тозаи ҳуҷра беҳтарин мегардонанд.
•Тарҳрезии дақиқ:Хусусиятҳои ҳамоҳангсозии дақиқи слот ва механизмҳои нигоҳдории бехатар барои пешгирӣ кардани лағжиш ва осеб ҳангоми коркард ва интиқол.
•Мутобиқати бисёрҷониба:Дар доираи васеи андозаҳо ва ғафсӣ вафли ҷойгир буда, чандириро барои барномаҳои гуногуни нимноқил таъмин мекунад.
•Муносибати эргономикӣ:Тарҳрезии сабук ва барои корбар осон боркунӣ ва борфарорӣ, баланд бардоштани самаранокии амалиёт ва кам кардани вақти коркардро осон мекунад.
•Имконоти танзимшаванда:Мутобиқсозӣ барои қонеъ кардани талаботи мушаххас, аз ҷумла интихоби мавод, тасҳеҳи андоза ва тамғагузорӣ барои ҳамгироии оптимизатсияи ҷараёни корӣ пешниҳод мекунад.
Раванди истеҳсоли нимноқилҳои худро бо Semicera такмил диҳедИнтиқолдиҳандагони вафли, ҳалли беҳтарин барои муҳофизат кардани вафли шумо аз ифлосшавӣ ва осеби механикӣ. Ба ӯҳдадориҳои мо ба сифат ва навоварӣ боварӣ ҳосил кунед, то маҳсулоте, ки на танҳо ба стандартҳои соҳа мувофиқат мекунанд, балки аз он зиёдтаранд ва фаъолияти шумо бемаънӣ ва самаранок кор мекунанд.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастабандии кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
