Semicera барои ҷузъҳо ва интиқолдиҳандагони гуногун рӯйпӯшҳои махсуси карбиди танталиро (TaC) таъмин мекунад.Раванди пешбари пӯшонидани Semicera ба рӯйпӯшҳои карбиди танталӣ (TaC) имкон медиҳад, ки тозагии баланд, устувории ҳарорати баланд ва таҳаммулпазирии баланди кимиёвӣ, беҳтар кардани сифати маҳсулоти кристаллҳои SIC/GAN ва қабатҳои EPI (Ҳасбкунандаи TaC бо графитӣ) ва дароз кардани мӯҳлати кори ҷузъҳои асосии реактор.Истифодаи пӯшиши тантали карбиди TaC барои ҳалли мушкилоти канорӣ ва беҳтар кардани сифати афзоиши кристалл мебошад ва Semicera рахнашавии технологияи пӯшиши карбиди танталиро (CVD) ҳал карда, ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расидааст.
Графит маводи аълои ҳарорати баланд аст, аммо он дар ҳарорати баланд ба осонӣ оксид мешавад.Ҳатто дар печҳои вакууми дорои гази инертӣ, он метавонад ба оксидшавии суст гузарад.Истифодаи қабати карбиди танталии CVD (TaC) метавонад субстрати графитро самаранок муҳофизат кунад ва ҳамон муқовимат ба ҳарорати баландро ҳамчун графит таъмин кунад.TaC инчунин як маводи ғайрифаъол аст, яъне он бо газҳо ба монанди аргон ё гидроген дар ҳарорати баланд реаксия намекунад.ПурсишТантал карбиди CVD молидани Crucible ҳозир!
Пас аз солҳои рушд, Semicera технологияи онро забт кардCVD TaCбо чидду чахди якчояи шуъбаи тадкикоти илмй.Дар раванди афзоиши вафли SiC камбудиҳо ба осонӣ ба амал меоянд, аммо пас аз истифодаTaC, тафовут назаррас аст.Дар зер муқоисаи вафли бо ва бе TaC, инчунин қисмҳои Simicera барои афзоиши монокристалл оварда шудааст.
бо ва бе TaC
Пас аз истифодаи TaC (аз рост)
Илова бар ин, SemiceraМаҳсулоти бо TaC пӯшидашудамӯҳлати хизмати дарозтар ва муқовимати бештар ба ҳарорати баланд дар муқоиса боСарпӯши SiC.Ченкунии лабораторй нишон дод, ки моСарпӯшҳои TaCметавонад пайваста дар ҳарорати то 2300 дараҷа дар муддати тӯлонӣ кор кунад.Дар зер баъзе намунаҳои намунаҳои мо ҳастанд:
