Сарпӯши TaCяк қабати муҳими моддӣ мебошад, ки одатан дар заминаи графит бо технологияи таҳшинкунии буғи химиявии металлӣ (MOCVD) омода карда мешавад. Ин рӯйпӯш дорои хосиятҳои аъло, аз қабили сахтии баланд, муқовимати аълои фарсудашавӣ, муқовимат ба ҳарорати баланд ва устувории кимиёвӣ мебошад ва барои барномаҳои гуногуни муҳандисии серталаб мувофиқ аст.
Технологияи MOCVD як технологияи васеъ истифодашавандаи афзоиши филми тунук аст, ки филми мураккаби дилхоҳро дар сатҳи субстрат тавассути реаксия кардани прекурсорҳои органикии металлӣ бо газҳои реактивӣ дар ҳарорати баланд ҷойгир мекунад. Ҳангоми тайёрӣСарпӯши TaC, интихоби прекурсорҳои органикии металлӣ ва манбаъҳои карбон, назорати шароити реаксия ва параметрҳои таҳшин, филми яксон ва зиччи TaC-ро дар заминаи графит гузоштан мумкин аст.
Semicera барои ҷузъҳо ва интиқолдиҳандагони гуногун рӯйпӯшҳои махсуси карбиди танталиро (TaC) таъмин мекунад.Раванди пешбари пӯшонидани Semicera ба рӯйпӯшҳои карбиди танталӣ (TaC) имкон медиҳад, ки тозагии баланд, устувории ҳарорати баланд ва таҳаммулпазирии баланди кимиёвӣ, беҳтар кардани сифати маҳсулоти кристаллҳои SIC/GAN ва қабатҳои EPI (Ҳасбкунандаи TaC бо графитӣ) ва дароз кардани умри ҷузъҳои асосии реактор. Истифодаи пӯшиши тантали карбиди TaC барои ҳалли мушкилоти канорӣ ва беҳтар кардани сифати афзоиши кристалл мебошад ва Semicera рахнашавии технологияи пӯшиши карбиди танталиро (CVD) ҳал карда, ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расидааст.
Пас аз солҳои рушд, Semicera технологияи онро забт кардCVD TaCбо чидду чахди якчояи шуъбаи тадкикоти илмй. Дар раванди афзоиши вафли SiC камбудиҳо ба осонӣ ба амал меоянд, аммо пас аз истифодаTaC, тафовут назаррас аст. Дар зер муқоисаи вафли бо ва бе TaC, инчунин қисмҳои Simicera барои афзоиши монокристалл оварда шудааст.
бо ва бе TaC
Пас аз истифодаи TaC (аз рост)
Илова бар ин, SemiceraМаҳсулоти бо TaC пӯшидашудамӯҳлати хизмати дарозтар ва муқовимати бештар ба ҳарорати баланд дар муқоиса боСарпӯши SiC.Ченкунии лабораторй нишон дод, ки моСарпӯшҳои TaCметавонад пайваста дар ҳарорати то 2300 дараҷа дар муддати тӯлонӣ кор кунад. Дар зер баъзе намунаҳои намунаҳои мо ҳастанд:
