Ҳалқаҳои роҳнамои графити бо TaC пӯшидашудаба пошидани қабати тунук муроҷиат кунедкарбиди танталдар рӯи як ҳалқаи роҳнамои графит барои беҳтар кардани муқовимати фарсудашавии он, муқовимат ба ҳарорати баланд ва устувории химиявӣ. Ин пӯшиш одатан дар рӯи ҳалқаи роҳнамои графит тавассути усулҳо ба монанди таҳшини буғи физикӣ (PVD) ё таҳшини буғи химиявӣ (CVD) ташаккул меёбад.
Semicera барои ҷузъҳо ва интиқолдиҳандагони гуногун рӯйпӯшҳои махсуси карбиди танталиро (TaC) таъмин мекунад.Раванди пешбари пӯшонидани Semicera ба рӯйпӯшҳои карбиди танталӣ (TaC) имкон медиҳад, ки тозагии баланд, устувории ҳарорати баланд ва таҳаммулпазирии баланди кимиёвӣ, беҳтар кардани сифати маҳсулоти кристаллҳои SIC/GAN ва қабатҳои EPI (Ҳасбкунандаи TaC бо графитӣ) ва дароз кардани умри ҷузъҳои асосии реактор. Истифодаи пӯшиши тантали карбиди TaC барои ҳалли мушкилоти канорӣ ва беҳтар кардани сифати афзоиши кристалл мебошад ва Semicera рахнашавии технологияи пӯшиши карбиди танталиро (CVD) ҳал карда, ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расидааст.
Пас аз солҳои рушд, Semicera технологияи онро забт кардCVD TaCбо чидду чахди якчояи шуъбаи тадкикоти илмй. Дар раванди афзоиши вафли SiC камбудиҳо ба осонӣ ба амал меоянд, аммо пас аз истифодаTaC, тафовут назаррас аст. Дар зер муқоисаи вафли бо ва бе TaC, инчунин қисмҳои Simicera барои афзоиши монокристалл оварда шудааст.
Хусусиятҳои асосии ҳалқаҳои дастури графитӣ бо TaC пӯшидашуда иборатанд аз:
1. муқовимати ҳарорати баланд: молидани TaC дорои суботи ҳарорати баланд аъло ва метавонад устувории дар муҳити ҳарорати баланд нигоҳ.
2. Муқовимат ба фарсудашавӣ: Сахтии баланди қабати тунуки карбиди тантал ба ҳалқаи роҳнамо муқовимат ба фарсудашавии хуб медиҳад ва мӯҳлати хизмати онро дароз мекунад.
3. Устувории кимиёвӣ: молидани TaC дорои устувории баланд бар зидди зангзании кимиёвӣ мебошад, ки онро барои барномаҳо дар баъзе васоити зангзананда мувофиқ месозад.
4. Коҳиш додани фриксия: Сарпӯши TaC метавонад соишро байни ҳалқаи роҳнамои графит ва ҷузъҳои дигар ба таври муассир коҳиш диҳад ва самаранокии мӯҳрҳои механикиро беҳтар кунад.
бо ва бе TaC
Пас аз истифодаи TaC (аз рост)
Илова бар ин, SemiceraМаҳсулоти бо TaC пӯшидашудамӯҳлати хизмати дарозтар ва муқовимати бештар ба ҳарорати баланд дар муқоиса боСарпӯши SiC.Ченкунии лабораторй нишон дод, ки моСарпӯшҳои TaCметавонад пайваста дар ҳарорати то 2300 дараҷа дар муддати тӯлонӣ кор кунад. Дар зер баъзе намунаҳои намунаҳои мо ҳастанд:
