Интиқолдиҳандаҳои вафли эпитаксиалии TaC пӯшидашудаодатан дар тайёр кардани дастгоххои сермахсули оптоэлектроникй, аппаратхои пуриктидор, сенсорхо ва дигар сохахо истифода мешаванд. Ининтиқолдиҳандаи вафли эпитаксиалӣба гузоштани он ишора мекунадTaCфилми тунук дар субстрат дар ҷараёни афзоиши кристалл барои ташаккул додани вафли дорои сохтор ва иҷрои мушаххас барои омодасозии минбаъдаи дастгоҳ.
Технологияи таҳшини буғи химиявӣ (CVD) одатан барои тайёр кардан истифода мешавадИнтиқолдиҳандаҳои вафли эпитаксиалии TaC пӯшидашуда. Бо реаксия кардани прекурсорҳои органикии металлӣ ва газҳои манбаи карбон дар ҳарорати баланд, филми TaC метавонад дар сатҳи субстрати кристалл ҷойгир карда шавад. Ин плёнка хусусиятхои аълои электрикй, оптикй ва механикй дошта метавонад ва барои тайёр кардани дастгоххои гуногуни сермахсул мувофик аст.
Semicera барои ҷузъҳо ва интиқолдиҳандагони гуногун рӯйпӯшҳои махсуси карбиди танталиро (TaC) таъмин мекунад.Раванди пешбари пӯшонидани Semicera ба рӯйпӯшҳои карбиди танталӣ (TaC) имкон медиҳад, ки тозагии баланд, устувории ҳарорати баланд ва таҳаммулпазирии баланди кимиёвӣ, беҳтар кардани сифати маҳсулоти кристаллҳои SIC/GAN ва қабатҳои EPI (Ҳасбкунандаи TaC бо графитӣ) ва дароз кардани умри ҷузъҳои асосии реактор. Истифодаи пӯшиши тантали карбиди TaC барои ҳалли мушкилоти канорӣ ва беҳтар кардани сифати афзоиши кристалл мебошад ва Semicera рахнашавии технологияи пӯшиши карбиди танталиро (CVD) ҳал карда, ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расидааст.
Пас аз солҳои рушд, Semicera технологияи онро забт кардCVD TaCбо чидду чахди якчояи шуъбаи тадкикоти илмй. Дар раванди афзоиши вафли SiC камбудиҳо ба осонӣ ба амал меоянд, аммо пас аз истифодаTaC, тафовут назаррас аст. Дар зер муқоисаи вафли бо ва бе TaC, инчунин қисмҳои Simicera барои афзоиши монокристалл оварда шудааст.
бо ва бе TaC
Пас аз истифодаи TaC (аз рост)
Илова бар ин, SemiceraМаҳсулоти бо TaC пӯшидашудамӯҳлати хизмати дарозтар ва муқовимати бештар ба ҳарорати баланд дар муқоиса боСарпӯши SiC.Ченкунии лабораторй нишон дод, ки моСарпӯшҳои TaCметавонад пайваста дар ҳарорати то 2300 дараҷа дар муддати тӯлонӣ кор кунад. Дар зер баъзе намунаҳои намунаҳои мо ҳастанд:
