Тавсифи
Интиқолдиҳандаҳои вафли Semicorex бо Coating SiC устувории гармидиҳӣ ва гузаронандагии истисноиро таъмин намуда, тақсимоти якхелаи гармиро ҳангоми равандҳои CVD таъмин мекунанд, ки барои хусусиятҳои баландсифати филми тунук ва рӯйпӯш муҳиманд.
Хусусиятҳои асосӣ:
1. Устувории барҷастаи гармӣ ва гузаронандаИнтиқолдиҳандаҳои вафли бо SiC-пӯшонидашудаи мо дар нигоҳ доштани ҳарорати мӯътадил ва пайваста бартарӣ доранд, ки барои равандҳои CVD муҳиманд. Ин тақсимоти якхелаи гармиро таъмин мекунад, ки боиси баланд шудани сифати филми тунук ва рӯйпӯш мегардад.
2. Истеҳсоли дақиқҲар як борбардори вафли мувофиқи стандартҳои дақиқ истеҳсол карда мешавад, ки ғафсии якхела ва ҳамвор будани сатҳи рӯиро таъмин мекунад. Ин дақиқӣ барои ноил шудан ба суръати устувори таҳшиншавӣ ва хосиятҳои филм дар вафли сершумор ва баланд бардоштани сифати умумии истеҳсол муҳим аст.
3. Монеаи наҷосатСарпӯши SiC ҳамчун монеаи гузаранда амал карда, паҳншавии ифлосҳоро аз ҳассосият ба вафли пешгирӣ мекунад. Ин хатари ифлосшавиро кам мекунад, ки барои истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилҳои тозагии баланд муҳим аст.
4. Давомнокӣ ва самаранокии хароҷотСохтмони мустаҳкам ва рӯйпӯши SiC устувории интиқолдиҳандаҳои вафлиро афзоиш дода, басомади ивазкунии ҳассосҳоро коҳиш медиҳад. Ин боиси кам шудани хароҷоти нигоҳдорӣ ва кам шудани вақти бекорӣ, зиёд шудани самаранокии амалиёти истеҳсоли нимноқилҳо мегардад.
5. Имконоти мутобиқсозӣИнтиқолдиҳандаҳои вафли Semicorex бо SiC Coating метавонанд барои қонеъ кардани талаботи мушаххаси раванд, аз ҷумла тағирот дар ҳаҷм, шакл ва ғафсии рӯйпӯш фармоиш дода шаванд. Ин чандирӣ имкон медиҳад, ки оптимизатсияи ҳассосият ба талаботи беназири равандҳои гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо мувофиқат кунад. Вариантҳои фармоишӣ имкон медиҳанд, ки тарҳҳои ҳассосиятро, ки барои барномаҳои махсусгардонидашуда пешбинӣ шудаанд, ба монанди истеҳсоли ҳаҷми баланд ё таҳқиқот ва таҳия, таъмин кардани иҷрои беҳтарин барои ҳолатҳои мушаххаси истифода.
Барномаҳо:
Интиқолдиҳандаҳои вафли Semicera бо SiC Coating барои зерин мувофиқанд:
• Афзоиши эпитаксиалии маводи нимноқилӣ
• Равандҳои таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD).
• Истехсоли пластинкахои нимнокили аълосифат
• Барномаҳои пешрафтаи истеҳсоли нимноқилҳо