Paddle Cantilever SiCдар печи печи диффузионии саноати фотоэлектрик барои пушонидани пластинхои кремнийи монокристалй ва поликристаллй истифода мешавад. Хусусияти он ба он имкон медиҳад, ки ба ҳарорати баланд ва зангзанӣ тоб оварад ва ба он умри дароз медиҳад.
ДарPaddle Cantilever SiCқаиқҳои SiC / қаиқҳои кварсиро, ки вафли кремнийро ба қубури печи пӯшиши диффузии ҳарорати баланд интиқол медиҳанд, мерасонад.
Дарозии моPaddle Cantilever SiCаз 1500 то 3500 мм аст.Paddle Cantilever SiCандоза метавонад мувофиқи мушаххасоти муштарӣ сохта шавад.
Хусусиятҳои физикии карбиди кремнийи дубора кристаллшуда | |
Амвол | Арзиши маъмулӣ |
Ҳарорати корӣ (°C) | 1600 ° C (бо оксиген), 1700 ° C (муҳитро коҳиш медиҳад) |
Мазмуни SiC | > 99,96% |
Мазмуни Si ройгон | < 0,1% |
Зичии масса | 2,60-2,70 г/см3 |
Порозияи намоён | < 16% |
Қувваи фишурдашавӣ | > 600 МПа |
Қувваи хамкунии сард | 80-90 МПа (20°C) |
Қувваи гармкунии гарм | 90-100 МПа (1400°C) |
Тавсеаи гармидиҳӣ @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°С |
Қобилияти гармидиҳӣ @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модули эластикӣ | 240 ГПа |
Муқовимат ба зарбаи гармидиҳӣ | Хеле хуб |