Семиерамуаррифӣ мекунадКассетаи нимноқил, як воситаи муҳим барои коркарди бехатар ва самараноки вафлиҳо дар тамоми раванди истеҳсоли нимноқилҳо. Ин кассета бо дақиқии баланд таҳия шудааст, ки вафли шумо бехатар нигоҳ дошта мешавад ва интиқол дода мешавад ва дар ҳар марҳила якпорчагии онҳо нигоҳ дошта мешавад.
Муҳофизати олӣ ва устуворӣДарКассетаи нимноқилаз Semicera сохта шудааст, то муҳофизати ҳадди аксарро ба вафли шумо пешниҳод кунад. Он аз маводҳои мустаҳкам ва ба ифлосшавӣ тобовар сохта шудааст, ки вафли шуморо аз зарари эҳтимолӣ ва ифлосшавӣ муҳофизат мекунад ва онро барои муҳити тозаи ҳуҷра интихоби беҳтарин месозад. Тарҳрезии кассета тавлиди зарраҳоро кам мекунад ва кафолат медиҳад, ки вафлиҳо ҳангоми коркард ва интиқол дастнорас ва бехатар мемонанд.
Тарҳрезии мукаммал барои иҷрои беҳтаринSemiceraКассетаи нимноқилдорои як тарҳи бодиққат тарҳрезишуда мебошад, ки ҳамоҳангсозии дақиқи вафлиро таъмин карда, хатари нодуруст ва осеби механикиро коҳиш медиҳад. Слотҳои кассета ба таври комил ҷойгир карда шудаанд, то ҳар як вафлиро бехатар нигоҳ доранд ва ҳар гуна ҳаракатеро, ки метавонад ба харошидан ё дигар норасоиҳо оварда расонад, пешгирӣ мекунад.
Фарқият ва мутобиқатДарКассетаи нимноқилгуногунҷабҳа буда, бо андозаҳои гуногуни вафли мувофиқ буда, онро барои марҳилаҳои гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо мувофиқ месозад. Новобаста аз он ки шумо бо андозаҳои стандартӣ ё фармоишӣ кор карда истодаед, ин кассета ба ниёзҳои шумо мутобиқ мешавад ва дар равандҳои истеҳсолии шумо чандирӣ пешниҳод мекунад.
Муносибати соддакардашуда ва самаранокӣБо дарназардошти корбар тарҳрезӣ шудаастКассетаи нимноқилҳои нимноқилсабук ва осон буда, барои зуд ва самаранок бор кардану борфарорй имконият медихад. Ин тарҳи эргономикӣ на танҳо вақтро сарфа мекунад, балки хатари хатогиҳои инсониро коҳиш медиҳад ва кори муътадилро дар дохили муассисаи шумо таъмин мекунад.
Мутобиқати стандартҳои саноатSemicera кафолат медиҳад, киКассетаи нимноқилба стандартхои баландтарини саноат барои сифат ва эътимод чавоб медихад. Ҳар як кассета аз санҷиши ҷиддӣ мегузарад, то кафолат диҳад, ки он дар шароити пурқуввати истеҳсоли нимноқилҳо пайваста кор мекунад. Ин садоқат ба сифат кафолат медиҳад, ки вафли шумо ҳамеша ҳифз карда мешавад ва стандартҳои баланди дар ин соҳа заруриро нигоҳ медорад.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастабандии кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
