Карбиди кремнийи CVD (SiC)
Барраси:CVDкарбиди кремний (SiC)як маводи хеле серталаб дар таҷҳизоти коркарди плазма, барномаҳои коркарди босуръати гармӣ (RTP) ва дигар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Хусусиятҳои истисноии механикӣ, кимиёвӣ ва гармии он онро як маводи беҳтарин барои барномаҳои технологияи пешрафта, ки дақиқ ва устувории баландро талаб мекунанд, табдил медиҳанд.
Барномаҳои CVD Bulk SiC:SiC-и яклухт дар саноати нимноқилҳо, махсусан дар системаҳои пошидани плазма муҳим аст, ки дар он ҷузъҳо ба монанди ҳалқаҳои фокусӣ, души газӣ, ҳалқаҳои канорӣ ва плитаҳо аз муқовимати барҷастаи зангзанӣ ва гузариши гармии SiC баҳра мебаранд. Истифодаи он то баRTPсистемаҳо аз сабаби қобилияти SiC барои тоб додан ба тағирёбии босуръати ҳарорат бидуни таназзули назаррас.
Ба гайр аз тачхизоти равганкашй, CVDмиқдори зиёди SiCдар печҳои диффузионӣ ва равандҳои афзоиши кристалл, ки дар он ҷо устувории баланди гармӣ ва муқовимат ба муҳити сахти кимиёвӣ талаб карда мешавад, маъқул аст. Ин хосиятҳо SiC-ро барои барномаҳои серталаб бо ҳарорати баланд ва газҳои зангзананда, ба монанди онҳое, ки дорои хлор ва фтор доранд, маводи интихоб мекунанд.
Афзалиятҳои ҷузъҳои CVD Bulk SiC:
•Зичии баланд:Бо зичии 3,2 г/см³,CVD миқдори зиёди SiCҷузъҳо ба фарсудашавӣ ва таъсири механикӣ хеле тобоваранд.
•Қобилияти баландтари гармӣ:Ҳаҷми гармидиҳии 300 Вт/м·Кро пешниҳод намуда, SiC гармиро самаранок идора мекунад ва онро барои ҷузъҳои ба давраҳои шадиди гармӣ дучоршуда беҳтарин месозад.
•Муқовимати махсуси кимиёвӣ:Реактивии пасти SiC бо газҳои сӯзишворӣ, аз ҷумла кимиёвӣ дар асоси хлор ва фтор, умри дарози ҷузъҳоро таъмин мекунад.
•Муқовимати танзимшаванда: CVD миқдори зиёди SiCмуқовиматро дар доираи 10⁻²–10⁴ Ω-см танзим кардан мумкин аст, ки он ба эҳтиёҷоти мушаххаси коркард ва нимноқилҳо мутобиқ карда мешавад.
•Коэффисиенти васеъшавии гармӣ:Бо коэффисиенти тавсеаи гармии 4,8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C), массаи CVD SiC ба зарбаи гармӣ муқовимат мекунад ва устувории андозаро ҳатто дар давраҳои гармидиҳии зуд ва хунуккунӣ нигоҳ медорад.
•Давомнокӣ дар плазма:Таъсир ба плазма ва газҳои реактивӣ дар равандҳои нимноқил ногузир аст, аммоCVD миқдори зиёди SiCмуқовимати олӣ ба зангзанӣ ва таназзул, коҳиш додани басомади иваз ва хароҷоти умумии нигоҳдорӣ пешниҳод мекунад.
Мушаххасоти техникӣ:
•Диаметр:Зиёда аз 305 мм
•Муқовимат:Дар доираи 10⁻²–10⁴ Ω-см танзимшаванда
•Зичӣ:3,2 г/см³
•Қобилияти гармидиҳӣ:300 Вт/м·К
•Коэффисиенти васеъшавии гармӣ:4,8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
Мутобиқсозӣ ва чандирӣ:Дарнимноқил, мо мефаҳмем, ки ҳар як барномаи нимноқил метавонад мушаххасоти гуногунро талаб кунад. Аз ин рӯ, ҷузъҳои бузурги SiC-и CVD-и мо комилан фармоишӣ буда, бо муқовимати танзимшаванда ва андозаҳои мутобиқшуда ба ниёзҳои таҷҳизоти шумо мувофиқанд. Новобаста аз он ки шумо системаҳои коркарди плазмаи худро оптимизатсия мекунед ё ҷузъҳои устувор дар RTP ё равандҳои диффузияро меҷӯед, SiC-и бузурги CVD мо иҷрои беҳамторо таъмин мекунад.
