Семиерабо камоли мамнуният пешниҳод мекунадКассетаи PFA, интихоби олӣ барои коркарди вафли дар муҳитҳое, ки муқовимати кимиёвӣ ва устуворӣ аз ҳама муҳим аст. Ин кассета аз маводи баландсифати Perfluoroalkoxy (PFA) сохта шудааст, ки барои тоб овардан ба шароити аз ҳама серталаб дар истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст ва бехатарӣ ва якпорчагии вафли шуморо таъмин мекунад.
Муқовимати кимиёвии беҳамтоДарКассетаи PFAбарои муқовимати олӣ ба доираи васеи кимиёвӣ тарҳрезӣ шудааст, ки онро барои равандҳое, ки кислотаҳои хашмгин, ҳалкунандаҳо ва дигар моддаҳои кимиёвии сахтро дар бар мегиранд, беҳтарин интихоб мекунад. Ин муқовимати қавии кимиёвӣ кафолат медиҳад, ки кассета ҳатто дар муҳитҳои аз ҳама зангзананда бетағйир боқӣ мемонад ва ба ин васила мӯҳлати умри онро дароз мекунад ва эҳтиёҷоти зуд-зуд ивазкуниро кам мекунад.
Сохтмони тозагии баландSemiceraКассетаи PFAаз маводи ултра тозаи PFA истеҳсол карда мешавад, ки барои пешгирии ифлосшавӣ ҳангоми коркарди вафли муҳим аст. Ин сохтори тозагии баланд хатари пайдоиши зарраҳо ва шусташавии кимиёвиро кам карда, кафолат медиҳад, ки вафли шумо аз ифлосиҳо, ки метавонад сифати онҳоро халалдор созад, муҳофизат карда шавад.
Мукаммали устуворӣ ва иҷроишБарои устуворӣ тарҳрезӣ шудааст,Кассетаи PFAтамомияти сохтории худро дар ҳарорати шадид ва шароити коркарди сахт нигоҳ медорад. Новобаста аз он ки ба ҳарорати баланд дучор мешаванд ё ба коркарди такрорӣ дучор мешаванд, ин кассета шакл ва кори худро нигоҳ медорад ва эътимоднокии дарозмуддатро дар муҳити серталаби истеҳсолӣ пешкаш мекунад.
Муҳандисии дақиқ барои коркарди бехатарДарКассетаи Semicera PFAдорои муҳандисии дақиқест, ки коркарди бехатар ва устувори вафлиро таъмин мекунад. Ҳар як слот бодиққат тарҳрезӣ шудааст, ки вафлиҳоро дар ҷои бехатар нигоҳ дорад ва ҳар гуна ҳаракат ё ҳаракатро, ки метавонад ба зарар расонад, пешгирӣ кунад. Ин муҳандисии дақиқ ҷойгиркунии пайваста ва дақиқи вафлиро дастгирӣ намуда, ба самаранокии умумии раванд мусоидат мекунад.
Барномаи универсалӣ дар саросари равандҳоБа шарофати хосиятҳои олии моддии онКассетаи PFAкофӣ универсал аст, ки барои дар марҳилаҳои гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо истифода бурда мешавад. Он махсусан барои коркарди тар, пошидани буғи химиявӣ (CVD) ва равандҳои дигар, ки муҳити сахти кимиёвиро дар бар мегиранд, мувофиқ аст. Мутобиқшавии он онро як воситаи муҳим дар нигоҳ доштани якпорчагии раванд ва сифати вафли месозад.
Ухдадорй ба сифат ва навоварйДар Semicera, мо ӯҳдадор ҳастем, ки маҳсулотеро пешниҳод кунем, ки ба стандартҳои баландтарини саноат ҷавобгӯ бошанд. ДарКассетаи PFAнамунаи ин ӯҳдадорӣ буда, ҳалли боэътимодеро пешниҳод мекунад, ки ба равандҳои истеҳсолии шумо бефосила ҳамгиро мешавад. Ҳар як кассета аз назорати қатъии сифат мегузарад, то боварӣ ҳосил кунад, ки он ба меъёрҳои қатъии иҷрои мо мувофиқат мекунад ва беҳтаринеро, ки шумо аз Semicera интизоред, пешкаш мекунад.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастаи кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
