Муаррифии борбардори вафли
КАТЕГОРИЯИ МАХСУЛОТ
▶Системаи интиқолдиҳандаи вафли барои раванди PECVD & TALOX
• Киштии графити PECVD ва TALOX (M4~M12)
• Киштии амудии SM-(M4, M6)
• Қисми Графити Имплант ва душ (M4~M6)
• C/C Суфраи & молидани сафолї
• Metal RIE-новаи & молидани сафолї
• мӯҳри чангкашак: O-ring & SQ-ring
▶Раванди интиқоли Текстуринг ва тар Etching
• LSC H-Carrier ё кассета (M4~M12)
• LSC V-Carrier ё кассета (M4~M12)
• Оператори ASC ё кассета (M4, M6)
• Интиқолдиҳанда ва қуттии нигаҳдории W/F (M4~M12)
• Силсилаи Чархҳои нақлиётӣ (ғалтаки).
▶Интиқолдиҳандаи ҳуҷайраи офтобӣ ва интиқолдиҳандаи металлӣ
• Оператори TRC ё кассета (M4~M12)
• Маҷалла (бо BELT)
КИШТИ ГРАФИТ (Type H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
КИШТИ ГРАФИТ (Type H)
21P6-240CT WF M4~M12)
КИШТИ ГРАФИТ (Type H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
КИШТИ ГРАФИТ (Type H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
КИШТИ ГРАФИТ (Type H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
НАСЛИЁТИ WF ва қуттии нигоҳдорӣ (~M12)
Табақаи C/C ё НАСЛИБОР (M4~M10)
Табақаи C/C ё НАСЛИБОР (M4~M10)
КИШТИ АМУДӢ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
КАРРИЕР ASC (~M6)
КАРРИЕРИ TRC(~M12)
КАРРИЕРИ TRC(~M12)
Графит-қаиқ (M12)
Системаи интиқолдиҳандаи вафли барои раванди PECVD
▶ КИШТИ ГРАФИТ (Тарҳрезии CT) M10/M12 Раванди
• КОНСЕПЦИЯИ МАХСУС
▶ КИШТИ ГРАФИТ (CT-Тарҳияшуда) Раванди M4/M6
▶ Қисмҳои лавозимоти киштӣ
▶ КИШТИ АМУДӢ-161,7мм ВАФЛИ
▶ КИШТИ АМУДӢ-166мм ВАФЛИ
▶ КИШТИ АМУДӢ-161,7мм, 166мм ВАФЕР
Интиқолдиҳандаи ҳуҷайраи офтобӣ & интиқолдиҳандаи металлӣ TRC
Навъи: Автоматикунонӣ
Андозаи вафель: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180мм ⑥ 210×210мм
ИСТИФОДА: Бардоштан (Касета)
Иқтидори: 100 варақ
ҚАТР: 4,76мм/5,953мм/6,35мм
Андоза: тақрибан 559 × 220 × 220 мм
Тақрибан 712 × 260 × 260 мм
Афзалият: Атмосфера
МАТЕРИАЛ : АЛОВА, БАРҶОМ-Алюминий (анодизатсия)
ПЛАНИ ПОМИ (Антистатикӣ)
Сарпӯши бари поён - EPDM/PU/VITON (ASE)
ТРЧ-МЕТАЛЛ КАРРОРИ (ХАТИИ U'SER)
ТРЧ-МЕТАЛЛ КАРРОРИ (ХАТИИ U'SER)
ТРЧ-МЕТАЛЛ КАРРОРИ (ХАТИИ U'SER)
ПЛАНИ ДУШ & ИМПЛАНТ, НАСЛИЁТ
