-
Раванди истеҳсоли нимноқилҳо - Etch Technology
Барои ба нимноқил табдил додани пластинка садҳо раванд лозим аст. Яке аз равандҳои муҳимтарин ин кандакорӣ мебошад, яъне дар вафли кандакорӣ кардани нақшҳои хуби схемавӣ. Муваффақияти раванди кандакорӣ аз идоракунии тағирёбандаҳои гуногун дар доираи тақсимоти муқарраршуда вобаста аст ва ҳар як сафҳа...Бештар -
Маводи беҳтарин барои ҳалқаҳои фокусӣ дар таҷҳизоти плазма: карбиди кремний (SiC)
Дар таҷҳизоти плазма, ҷузъҳои сафолӣ, аз ҷумла ҳалқаи фокус, нақши муҳим мебозанд. Ҳалқаи фокус, ки дар атрофи вафли ҷойгир шудааст ва дар тамоси мустақим бо он аст, барои фокус кардани плазма ба вафли тавассути истифодаи шиддат ба ҳалқа муҳим аст. Ин беҳбудиро беҳтар мекунад ...Бештар -
Таъсири коркарди яккристалл карбиди кремний ба сифати сатҳи вафли
Таҷҳизоти барқии нимноқилҳо дар системаҳои электронии энергетикӣ мавқеи асосиро ишғол мекунанд, махсусан дар заминаи рушди босуръати технологияҳо ба монанди зеҳни сунъӣ, алоқаи 5G ва мошинҳои нави энергетикӣ, талабот ба иҷрои онҳо ...Бештар -
Маводи асосӣ барои афзоиши SiC: рӯйпӯши карбиди тантал
Дар айни замон дар насли сеюми нимноќилњо карбиди кремний бартарї дорад. Дар структураи арзиши аслии дастгоххои он субстрат 47 фоиз ва эпитаксим 23 фоизро ташкил медихад. Ҳарду якҷоя тақрибан 70% -ро ташкил медиҳанд, ки муҳимтарин қисми истеҳсоли дастгоҳи карбиди кремний мебошад ...Бештар -
Маҳсулоти танталӣ бо карбиди тантал муқовимати коррозияи маводҳоро чӣ гуна афзоиш медиҳанд?
Пӯшидани карбиди тантал як технологияи коркарди рӯизаминӣ мебошад, ки метавонад муқовимати коррозияи маводҳоро ба таври назаррас беҳтар кунад. Пӯшидани карбиди танталро метавон ба сатҳи субстрат тавассути усулҳои гуногуни омодагӣ, ба монанди таҳшин кардани буғи химиявӣ, физикӣ ...Бештар -
Дирӯз Шӯрои инноватсионии илм ва технология эълон кард, ки Huazhuo Precision Technology IPO-и худро қатъ кардааст!
Танҳо эълон расонидани аввалин таҷҳизоти annealing лазерӣ 8-дюймаи SIC дар Чин, ки он низ технологияи Tsinghua кард; Чаро худи онхо маводро кашида гирифтанд? Танҳо чанд сухан: Якум, маҳсулот хеле гуногунанд! Дар назари аввал намедонам, ки онҳо чӣ кор мекунанд. Дар айни замон, Ҳ...Бештар -
Сарпӯши карбиди кремний CVD-2
Кабати карбиди кремнийи CVD 1. Чаро қабати карбиди кремний вуҷуд дорад Қабати эпитаксиалӣ як плёнкаи мушаххаси тунуки яккристаллӣ мебошад, ки дар асоси вафли тавассути раванди эпитаксиалӣ парвариш карда мешавад. Вафли субстрат ва плёнкаи тунуки эпитаксиалӣ ба таври умум вафли эпитаксиалӣ номида мешавад. Дар байни онҳо, ...Бештар -
Раванди тайёр кардани пӯшиши SIC
Дар айни замон усулҳои тайёр кардани рӯйпӯши SiC асосан усули гел-зол, усули ҷобаҷокунӣ, усули пӯшидани щетка, усули пошидани плазма, усули реаксияи буғи химиявӣ (CVR) ва усули рехтани буғи химиявӣ (CVD) мебошанд. Усули ҷобаҷогузорӣИн усул як навъ марҳилаи сахти ҳарорати баланд аст ...Бештар -
CVD кремний карбиди молидани-1
CVD чист SiC Ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD) як раванди таҳшинкунии вакуумӣ мебошад, ки барои истеҳсоли маводи сахти тозаи баланд истифода мешавад. Ин раванд аксар вақт дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо барои ташаккули филмҳои тунук дар рӯи вафлиҳо истифода мешавад. Дар раванди тайёр кардани SiC аз ҷониби CVD, субстрат васеъ мешавад ...Бештар -
Таҳлили сохтори дислокатсия дар кристалл SiC тавассути моделиронии пайгирии рентген бо ёрии тасвири топологии рентгенӣ
Заминаи тадқиқот Муҳимияти татбиқи карбиди кремний (SiC): Ҳамчун як маводи нимноқили васеъи диапазон, карбиди кремний аз сабаби хосиятҳои аълои электрикии худ (ба монанди фосилаи калонтар, суръати баландтарии электронҳо ва гузариши гармӣ) таваҷҷӯҳи зиёдро ҷалб кардааст. Ин такягоҳҳо...Бештар -
Раванди тайёр кардани кристаллҳои тухмӣ дар афзоиши яккристалл SiC 3
Тафтиши афзоиш Кристаллҳои тухмии карбиди кремний (SiC) пас аз раванди зикршуда омода карда шуданд ва тавассути афзоиши булӯри SiC тасдиқ карда шуданд. Платформаи афзоиш истифодашуда як кӯраи рушди индуксионии SiC бо ҳарорати афзоиши 2200 ℃, фишори афзоиши 200 Па ва афзоиши...Бештар -
Раванди тайёр кардани кристаллҳои тухмӣ дар рушди як кристалл SiC (Қисми 2)
2. Раванди таҷрибавӣ 2.1 Мустаҳкам кардани плёнкаи илтиёмӣ Мушоҳида карда шуд, ки мустақиман эҷод кардани плёнкаи карбонӣ ё пайваст кардани коғази графитӣ дар вафлиҳои SiC, ки бо илтиём пӯшонида шудаанд, боиси якчанд мушкилот мешаванд: 1. Дар шароити вакуум, плёнкаи илтиёмӣ дар вафлиҳои SiC намуди миқёсро ба вуҷуд овард, ки аз сабаби он имзо кардан...Бештар