Роллинг ба раванди дастос кардани диаметри берунии асои яккристаллии кремний ба як чӯби кристалии диаметри зарурӣ бо истифода аз чархи суфтакунандаи алмос ва дастос кардани сатҳи истинод дар канори ҳамвор ё чуқури ҷойгиркунии чӯби ягона кристалл дахл дорад.
Сатҳи диаметри берунии асои кристаллӣ, ки аз ҷониби кӯраи ягона кристалл омода карда шудааст, ҳамвор ва ҳамвор нест ва диаметри он аз диаметри вафли кремний, ки дар истифодаи ниҳоӣ истифода мешавад, калонтар аст. Диаметри зарурии чӯбро тавассути печонидани диаметри берунӣ ба даст овардан мумкин аст.
Асбоби прокат вазифаи суфтани сатҳи истинод дар канори ҳамвор ё чуқурии ҷойгиркунии чӯби яккристалии кремнийро дорад, яъне санҷиши самтбахшро дар асои яккристалл бо диаметри зарурӣ анҷом медиҳад. Дар ҳамон таҷҳизоти осиёб прокат, сатҳи истинод дар канори ҳамвор ё чуқури ҷойгиркунии чӯби яккристалл хок карда мешавад. Умуман, чубҳои яккристаллӣ бо диаметри камтар аз 200 мм сатҳҳои истинодҳои канори ҳамвор ва чубҳои яккристалии диаметри 200 мм ва болотар аз чуқуриҳои ҷойгиршавӣ истифода мебаранд. Асои кристалии ягонаи диаметри 200 мм низ мумкин аст, ки дар ҳолати зарурӣ бо сатҳи истинодҳои канори ҳамвор сохта шаванд. Мақсади як кристалл рӯи истинод самти асои аст, қонеъ гардонидани эҳтиёҷоти амалиёти ҷойгиркунии худкор таҷҳизоти раванди дар истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ; нишон додани самти кристалл ва навъи ноқилӣ вафли кремний ва ғайра, барои осон кардани идоракунии истеҳсолот; канори асосии ҷойгиркунӣ ё чуқури ҷойгиркунӣ ба самти <110> перпендикуляр аст. Дар ҷараёни бастабандии чип, раванди буридан метавонад боиси буридани табиии вафли гардад ва ҷойгиркунӣ инчунин метавонад тавлиди порчаҳоро пешгирӣ кунад.
Ҳадафҳои асосии раванди мудавваркунӣ аз инҳо иборатанд: Беҳтар кардани сифати сатҳи: мудавваркунӣ метавонад буррҳо ва нобаробарӣ дар рӯи вафли кремнийро бартараф кунад ва ҳамвории сатҳи пластинҳои кремнийро беҳтар созад, ки барои равандҳои минбаъдаи фотолитография ва абрешим хеле муҳим аст. Коҳиш додани стресс: Стресс метавонад ҳангоми буридан ва коркарди вафли кремний тавлид шавад. Якчандкунӣ метавонад ба озод кардани ин фишорҳо кӯмак расонад ва аз шикастани пласти кремний дар равандҳои минбаъда пешгирӣ кунад. Баланд бардоштани устувории механикии пластинкаҳои кремний: Дар ҷараёни мудаввар кунҷҳои пластинҳои кремний ҳамвортар мешаванд, ки ин ба беҳтар шудани қувваи механикии вафли кремний ва кам кардани зарар ҳангоми интиқол ва истифода мусоидат мекунад. Таъмини дақиқии андоза: Бо яклухткунӣ, дақиқии андозагирии вафли кремнийро метавон таъмин кард, ки барои истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилҳо муҳим аст. Беҳтар кардани хосиятҳои электрикии пластинкаҳои кремний: Коркарди канори вафли кремний ба хосиятҳои электрикии онҳо таъсири муҳим дорад. Яклухткунӣ метавонад хосиятҳои электрикии вафли кремнийро беҳтар созад, ба монанди кам кардани ҷараёни ихроҷ. Эстетика: Кунҷҳои вафли кремний пас аз мудаввар кардан ҳамвортар ва зеботар мешаванд, ки ин барои сенарияҳои муайяни татбиқ низ зарур аст.
Вақти фиристодан: июл-30-2024