Азтигельҳамчун контейнер истифода мешавад ва дар дохили он конвексия мавҷуд аст, зеро андозаи як кристали тавлидшуда зиёд мешавад, конвексияи гармӣ ва якрангии градиенти ҳарорат назорат кардан душвортар мешавад. Бо илова кардани майдони магнитӣ барои амал кардани обшавии ноқил ба қувваи Лоренц, конвексияро барои истеҳсоли кремнийи баландсифати монокристаллӣ суст кардан ё ҳатто нест кардан мумкин аст.
Аз рӯи намуди майдони магнитӣ, он метавонад ба майдони магнитии уфуқӣ, майдони магнитии амудӣ ва майдони магнитии CUSP тақсим карда шавад:
Майдони магнитии амудӣ бо сабабҳои сохторӣ конвексияи асосиро бартараф карда наметавонад ва хеле кам истифода мешавад.
Самти ҷузъи майдони магнитии майдони магнитии уфуқӣ ба конвексияи асосии гармӣ ва конвексияи қисман маҷбурии девори тигел перпендикуляр аст, ки метавонад ҳаракатро ба таври муассир боздорад, ҳамвории интерфейси афзоишро нигоҳ дорад ва рахҳои афзоишро коҳиш диҳад.
Майдони магнитии CUSP аз сабаби симметрияаш ҷараёни якхела ва интиқоли гармии гудохта дорад, аз ин рӯ тадқиқот оид ба майдонҳои магнитии амудӣ ва CUSP якҷоя идома дорад.
Дар Чин Донишгоҳи технологии Сиан таҷрибаҳои истеҳсол ва кашидани кристаллҳои монокристаллҳои кремнийро бо истифода аз майдонҳои магнитӣ қаблан амалӣ кард. Маҳсулоти асосии он намудҳои маъмули 6-8 дюйм мебошанд, ки ба бозори вафли кремний барои ҳуҷайраҳои фотоэлектрикҳои офтобӣ нигаронида шудаанд. Дар кишварҳои хориҷӣ, аз қабили KAYEX дар Иёлоти Муттаҳида ва CGS дар Олмон, маҳсулоти асосии онҳо 8-16 дюйм мебошанд, ки барои чӯбҳои кремнийи яккристаллӣ дар сатҳи микросхемаҳои интегралӣ ва нимноқилҳои ултра-калон мувофиқанд. Онхо дар сохаи майдонхои магнитй барои нашъунамои монокристалхои диаметрашон калон-сифат монополия доранд ва аз хама бештар намоянда доранд.
Тақсимоти майдони магнитӣ дар минтақаи тигелии системаи афзоиши яккристалл қисми муҳимтарини магнит мебошад, аз ҷумла қувват ва якрангии майдони магнитӣ дар канори тигел, маркази тигел ва мувофиқ масофа аз сатхи моеъ. Майдони магнитии умумии уфуқӣ ва якхелаи кундаланг, хатҳои магнитии қувва ба меҳвари афзоиши кристалл перпендикуляр мебошанд. Тибқи таъсири магнитӣ ва қонуни Ампер, ғалтак ба канори тигел наздиктар аст ва шиддати майдон аз ҳама калонтар аст. Бо зиёд шудани масофа муқовимати магнитии ҳаво зиёд мешавад, қувваи майдон тадриҷан кам мешавад ва он дар марказ хурдтарин аст.
Нақши майдони магнитии суперноқил
Монеъи конвексияи гармӣ: Дар сурати мавҷуд набудани майдони магнитии беруна, кремнийи гудохта ҳангоми гармкунӣ конвексияи табииро ба вуҷуд меорад, ки метавонад ба тақсимоти нобаробари наҷосат ва ташаккули нуқсонҳои кристалл оварда расонад. Майдони магнитии беруна метавонад ин конвексияро фурў нишонда, тақсимоти ҳароратро дар дохили об яксонтар кунад ва тақсимоти нобаробари наҷосатро коҳиш диҳад.
Назорати суръати афзоиши кристалл: Майдони магнитӣ метавонад ба суръат ва самти афзоиши кристалл таъсир расонад. Бо назорати дақиқи қувват ва тақсимоти майдони магнитӣ, раванди афзоиши кристаллро метавон оптимизатсия кард ва якпорчагӣ ва якрангии кристаллро беҳтар кард. Ҳангоми афзоиши кремнийи монокристаллӣ, оксиген ба обшавии кремний асосан тавассути ҳаракати нисбии гудохта ва тигел ворид мешавад. Майдони магнитӣ имкони тамоси оксигенро бо обшавии кремний тавассути коҳиш додани конвексияи обшавии об коҳиш медиҳад ва ба ин васила обшавии оксигенро коҳиш медиҳад. Дар баъзе мавридҳо, майдони магнитии беруна метавонад шароити термодинамикии гудохтаро тағир диҳад, масалан, бо роҳи тағир додани шиддати сатҳи об, ки метавонад ба ғайрифаъолшавии оксиген мусоидат кунад ва ба ин васила миқдори оксигенро дар об кам кунад.
Ҳалшавии оксиген ва дигар ифлосҳоро кам кунед: Оксиген яке аз ифлосиҳои маъмул дар афзоиши кристаллҳои кремний мебошад, ки боиси бад шудани сифати кристалл мегардад. Майдони магнитӣ метавонад миқдори оксигенро дар гудохта кам кунад ва ба ин васила обшавии оксигенро дар кристалл коҳиш диҳад ва тозагии кристаллро беҳтар созад.
Сохтори дохилии кристаллро беҳтар кунед: Майдони магнитӣ метавонад ба сохтори нуқсон дар дохили кристалл, ба монанди дислокатсияҳо ва сарҳадҳои дона таъсир расонад. Бо кам кардани шумораи ин камбудиҳо ва таъсир расонидан ба тақсимоти онҳо, сифати умумии кристаллро беҳтар кардан мумкин аст.
Беҳтар кардани хосиятҳои электрикии кристаллҳо: Азбаски майдонҳои магнитӣ ба микроструктура ҳангоми афзоиши кристаллҳо таъсири назаррас доранд, онҳо метавонанд хосиятҳои электрикии кристалҳоро, ба монанди муқовимат ва мӯҳлати интиқолдиҳандаро, ки барои истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилҳои баландсифат муҳиманд, беҳтар созанд.
Хуш омадед ба ҳама муштариён аз тамоми ҷаҳон барои боздид аз мо барои муҳокимаи минбаъда!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Вақти фиристодан: июл-24-2024