ДарMOCVDУсули яке аз равандҳои устувортаринест, ки ҳоло дар саноат барои парвариши плёнкаҳои тунуки яккристаллии баландсифат, аз қабили эпилайерҳои якфазавии InGaN, маводи III-N ва плёнкаҳои нимноқилӣ бо сохторҳои чоҳи бисёр квантӣ истифода мешаванд ва аҳамияти калон дорад. истехсоли дастгоххои нимно-килй ва оптоэлектроний.
ДарҲасбкунандаи пӯшиши SiC MOCVDДорандаи вафли махсусгардонидашуда бо карбиди кремний (SiC) бароиэпитаксиалӣ афзоиши раванди таҳшиншавии буғи химиявии органикии металлӣ (MOCVD).
Сарпӯши SiC дорои муқовимати аълои кимиёвӣ ва устувории гармӣ мебошад, ки онро барои ҳассосиятҳои MOCVD, ки дар равандҳои афзоиши эпитаксиалӣ истифода мешаванд, беҳтарин интихоб мекунад.
Ҷузъи асосии раванди MOCVD ҳассос аст, ки унсури асосии таъмини якрангӣ ва сифати филмҳои тунуки истеҳсолшуда мебошад.
Сусептор чист? Ҳасбкунанда як ҷузъи махсусест, ки дар раванди MOCVD барои дастгирӣ ва гарм кардани субстрате, ки дар он филми тунук гузошта шудааст, истифода мешавад. Он дорои якчанд вазифаҳо, аз ҷумла азхудкунии энергияи электромагнитӣ, табдил додани он ба гармӣ ва баробар тақсим кардани гармӣ дар рӯи замин. Ин гармии якхела барои афзоиши филмҳои тунуки якхела бо ғафсӣ ва таркиби дақиқ муҳим аст.
Намудҳои ҳассосиятҳо:
1. Ҳассосҳои графитӣ: Ҳассосҳои графитӣ аксар вақт бо қабати муҳофизатӣ, ба монандикарбиди кремний (SiC), ки бо гармии баланд ва устувории худ маълум аст. ДарСарпӯши SiCсатҳи сахти муҳофизатиро таъмин мекунад, ки ба зангзанӣ ва таназзул дар ҳарорати баланд муқовимат мекунад.
2. Ҳасбкунандаҳои карбиди кремний (SiC): Ин ҳассосиятҳо комилан аз SiC сохта шудаанд ва устувории аълои гармӣ ва муқовимат ба фарсудашавӣ доранд. Ҳасбкунандаҳои SiC махсусан барои равандҳои ҳарорати баланд ва муҳити зангзананда мувофиқанд.
Чӣ тавр ҳассосиятҳо дар MOCVD кор мекунанд:
Дар раванди MOCVD, прекурсорҳо ба камераи реаксия ворид карда мешаванд, ки онҳо таҷзия мешаванд ва реаксия мекунанд, то дар субстрат як филми тунукро ба вуҷуд оранд. Ҳасбкунанда нақши муҳимро бо таъмини гарм кардани субстрат яксон мекунад, ки барои ба даст овардани хосиятҳои пайвастаи филм дар тамоми сатҳи субстрат муҳим аст. Мавод ва тарҳи ҳассосият бодиққат интихоб карда мешаванд, то ба талаботи мушаххаси раванди таҳшинкунӣ, ба монанди диапазони ҳарорат ва мутобиқати кимиёвӣ мувофиқат кунанд.
Манфиатҳои истифодаи ҳассосҳои баландсифат:
• Сифати филми мукаммал: Бо таъмин намудани тақсимоти якхелаи гармӣ, ҳассосият барои ба даст овардани филмҳои ғафсӣ ва таркиби пайваста кӯмак мекунад, ки барои иҷрои дастгоҳҳои нимноқил муҳим аст.
• Самаранокии беҳтари раванд: Ҳасбкунандаҳои баландсифат самаранокии умумии раванди MOCVD-ро тавассути коҳиш додани эҳтимолияти камбудиҳо ва баланд бардоштани ҳосили филмҳои истифодашаванда зиёд мекунанд.
• Давомнокӣ ва эътимоднокӣ: Ҳабдабаҳое, ки аз маводи пойдор ба мисли SiC сохта шудаанд, эътимоднокии дарозмуддатро таъмин мекунанд ва хароҷоти нигоҳубинро кам мекунанд.
Сусептор ҷузъи ҷудонашавандаи раванди MOCVD буда, ба сифат ва самаранокии таҳшиншавии филми тунук бевосита таъсир мерасонад. Барои маълумоти бештар дар бораи андозаҳои дастрас, ҳассосҳои MOCVD ва нархҳо, лутфан бо мо дар тамос шавед. Муҳандисони мо бо омодагӣ ба шумо дар бораи маводи мувофиқ маслиҳат медиҳанд ва ба ҳама саволҳои шумо ҷавоб медиҳанд.
Телефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Вақти интишор: 12 август-2024