Афзоиши эпитаксиалӣ технологияест, ки як қабати кристаллро дар як субстрати кристалл (субстрат) бо ҳамон самти кристалл ҳамчун субстрат мерӯяд, гӯё кристалл аслӣ ба берун паҳн шуда бошад. Ин қабати ягонаи кристаллии навтаъсисшуда аз рӯи намуди ноқилӣ, муқовимат ва ғайра метавонад аз субстрат фарқ кунад ва метавонад кристаллҳои якқабата бо ғафсии гуногун ва талаботҳои гуногунро парвариш кунад ва ба ин васила чандирии тарҳрезии дастгоҳ ва кори дастгоҳро хеле беҳтар кунад. Илова бар ин, раванди эпитаксиалӣ инчунин дар технологияи изолятсияи PN junction дар микросхемаҳои интегралӣ ва беҳтар кардани сифати мавод дар микросхемаҳои интегралӣ васеъ истифода мешавад.
Таснифи эпитаксия асосан ба таркибҳои гуногуни кимиёвии субстрат ва қабати эпитаксиалӣ ва усулҳои гуногуни афзоиш асос ёфтааст.
Мувофиқи таркибҳои гуногуни кимиёвӣ, афзоиши эпитаксиалӣ метавонад ба ду намуд тақсим карда шавад:
1. Гомоэпитаксиалӣ: Дар ин ҳолат, қабати эпитаксиалӣ дорои таркиби кимиёвии ҳамон субстрат мебошад. Масалан, қабатҳои эпитаксиалии кремний бевосита дар субстратҳои кремний парвариш карда мешаванд.
2. Гетероепитаксия: Дар ин ҷо таркиби кимиёвии қабати эпитаксиалӣ аз субстрат фарқ мекунад. Масалан, қабати эпитаксиалии нитриди галлий дар субстрати сапфир парвариш карда мешавад.
Мувофиқи усулҳои гуногуни афзоиш, технологияи афзоиши эпитаксиалӣ низ метавонад ба намудҳои гуногун тақсим карда шавад:
1. Эпитаксияи чӯби молекулавӣ (MBE): Ин технология барои парвариши филмҳои борик кристаллӣ дар субстратҳои монокристалл мебошад, ки тавассути назорати дақиқи суръати гардиши молекулавӣ ва зичии чӯб дар вакууми ултра-баланд ба даст оварда мешавад.
2. Ҷойгиркунии буғи кимиёвии металлӣ-органикӣ (MOCVD): Ин технология пайвастагиҳои металлӣ-органикӣ ва реактивҳои фазавии газро барои анҷом додани реаксияҳои кимиёвӣ дар ҳарорати баланд барои тавлиди маводи филми тунуки лозим истифода мебарад. Он дар тайёр кардани мавод ва дастгоҳҳои нимноқилҳои мураккаб васеъ истифода мешавад.
3. Epitaxy фазаи моеъ (LPE): Бо илова кардани маводи моеъ ба як оксиген кристалл ва иҷрои коркарди гармӣ дар ҳарорати муайян, маводи моеъ crystallizes як филми кристалл ягона. Плёнкахое, ки аз руи ин технология тайёр карда шудаанд, ба субстрат торча мувофик мебошанд ва аксар вакт барои тайёр кардани масолеху асбобхои нимнокилии омехта истифода мешаванд.
4. Эпитаксияи фазаи буғӣ (VPE): реаксияҳои газро барои иҷрои реаксияҳои кимиёвӣ дар ҳарорати баланд барои тавлиди маводи филми борик истифода мебарад. Ин технология барои тайёр кардани плёнкахои масохати калон-сифати монокристалй мувофик буда, махсусан дар тайёр кардани масолеху асбобхои нимнокилхои омехта намоён аст.
5. Эпитаксияи чӯби кимиёвӣ (CBE): Ин технология чӯбҳои кимиёвиро барои парвариши филмҳои яккристаллӣ дар субстратҳои яккристалл истифода мебарад, ки тавассути назорати дақиқи суръати ҷараёни чӯбҳои кимиёвӣ ва зичии чӯб ба даст меояд. Он дар тайёр кардани плёнкахои тунуки монокристалии баландсифат васеъ истифода мешавад.
6. Эпитаксияи қабати атомӣ (ALE): Бо истифода аз технологияи ҷойгиркунии қабати атомӣ, маводи филми тунуки лозимӣ қабат ба қабат дар як субстрати кристалл ҷойгир карда мешаванд. Ин технология метавонад плёнкаҳои баландсифати монокристалии майдони васеъ тайёр кунад ва аксар вақт барои тайёр кардани масолеҳи нимноқилҳои мураккаб ва дастгоҳҳо истифода мешавад.
7. Эпитаксияи девори гарм (HWE): Тавассути гармкунии ҳарорати баланд, реактивҳои газӣ дар як субстрати кристалл ҷойгир карда мешаванд, то як филми кристаллро ташкил кунанд. Ин технология инчунин барои тайёр кардани плёнкахои масохати калон ва хушсифати монокристалл мувофик буда, махсусан дар тайёр кардани материалхо ва асбобхои нимнокилхои омехта истифода мешавад.
Вақти фиристодан: май-06-2024