Марҳилаҳои асосии коркарди субстратҳои SiC кадомҳоянд?

 

Чӣ тавр мо қадамҳои коркарди субстратҳои SiC инҳоянд:

 

1. Самти кристалл:

Истифодаи дифраксияи рентгенӣ барои ориентация кардани кристалл. Вақте ки нури рентгенӣ ба рӯи булӯри дилхоҳ равона карда мешавад, кунҷи шуои дифраксия ориентацияи кристаллро муайян мекунад.

 

2. Гирифтани диаметри берунӣ:

Кристалҳои ягонае, ки дар тигелҳои графитӣ парвариш карда мешаванд, аксар вақт аз диаметрҳои стандартӣ зиёданд. Суфтакунии диаметри берунӣ онҳоро ба андозаи стандартӣ коҳиш медиҳад.

 

 

3. Тозакунии ниҳоӣ:

Субстратҳои 4-дюймаи 4H-SiC одатан ду кунҷҳои ҷойгиркунӣ доранд, ибтидоӣ ва миёна. Дастос кардани рӯйи ниҳоӣ ин кунҷҳои ҷойгиркуниро мекушояд.

 

4. Арра кардани сим:

Арра кардани сим як қадами муҳим дар коркарди субстратҳои 4H-SiC мебошад. Тарқишҳо ва осеби зеризаминӣ ҳангоми буридани сим ба равандҳои минбаъда таъсири манфӣ расонида, вақти коркардро дароз мекунанд ва боиси талафоти моддӣ мегарданд. Усули маъмултарин арра кардани сими бисёрқабата бо абразизи алмос мебошад. Ҳаракати мутақобилаи симҳои металлӣ, ки бо абразивҳои алмос пайваст карда шудаанд, барои буридани зарфи 4H-SiC истифода мешавад.

 

5. Парвариш:

Барои пешгирии шикастани канорҳо ва кам кардани талафоти масрафӣ дар ҷараёни равандҳои минбаъда, кунҷҳои тези микросхемаҳои сим аррашуда ба шаклҳои муайян канда мешаванд.

 

6. Бор кардан:

Арра кардани сим харошидан ва зарари зеризаминии зиёде мегузорад. Тунуккунӣ бо истифода аз чархҳои алмосӣ анҷом дода мешавад, то ин нуқсонҳо то ҳадди имкон бартараф карда шаванд.

 

7. Суфтакунӣ:

Ин раванд дастоскунии ноҳамвор ва суфтакунии ҷаримаро бо истифода аз карбиди бор ё абразивҳои алмоси андозаи хурдтар барои бартараф кардани зарарҳои боқимонда ва зарарҳои нав, ки ҳангоми бориккунӣ ворид шудаанд, дар бар мегирад.

 

8. Сайёркунӣ:

Қадамҳои ниҳоӣ сайқал додани ноҳамвор ва сайқалдиҳиро бо истифода аз абразивҳои гилхок ё оксиди кремний дар бар мегиранд. Моеъи сайқалдиҳанда сатҳро нарм мекунад, ки пас аз он ба воситаи абразивҳо ба таври механикӣ тоза карда мешавад. Ин қадам сатҳи ҳамвор ва осебнадидаро таъмин мекунад.

 

9. Тозакунӣ:

Тоза кардани зарраҳо, металлҳо, филмҳои оксиди, пасмондаҳои органикӣ ва дигар ифлоскунандаҳо аз марҳилаҳои коркард.