Ахбор - Ифлосшавии сатњи вафли ва усули муайянкунии он

Тозагиисатҳи вафлиба дарачаи тахассусии процессхо ва махсулоти минбаъдаи нимнокил таъсири калон мерасонад. То 50 фоизи тамоми талафи хосил аз он сабаб мешавадсатҳи вафлиифлосшавӣ.

Объектҳое, ки метавонанд дар кори барқии дастгоҳ ё раванди истеҳсоли дастгоҳ тағироти беназоратро ба вуҷуд оранд, дар маҷмӯъ ифлоскунандаҳо номида мешаванд. Ифлоскунандаҳо метавонанд аз худи вафли, ҳуҷраи тоза, асбобҳои коркард, кимиёвии коркард ё об пайдо шаванд.Вафельифлосшавиро одатан тавассути мушоҳидаи визуалӣ, санҷиши раванд ё истифодаи таҷҳизоти мураккаби таҳлилӣ дар санҷиши ниҳоии дастгоҳ муайян кардан мумкин аст.

▲Офтобкунандахо дар руи пластинкахои кремний | Шабакаи манбаи тасвир

Натиҷаҳои таҳлили ифлосшавӣ метавонанд барои инъикоси дараҷа ва намуди ифлосшавӣ, ки аз ҷонибивафлидар як қадами муайяни раванд, мошини мушаххас ё раванди умумӣ. Мувофиқи таснифоти усулҳои ошкор,сатҳи вафлиифлосшавиро ба навъхои зерин таксим кардан мумкин аст.

Ифлосшавии металл

Ифлосшавии металлҳо метавонад боиси нуқсонҳои дастгоҳи нимноқилҳои дараҷаҳои гуногун гардад.
Металлҳои ишғолӣ ё металлҳои ишқории заминӣ (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba ва ғ.) метавонанд дар сохтори pn ҷорӣ шудани ҷараёнро ба вуҷуд оранд, ки дар навбати худ ба шиддати шикастани оксид оварда мерасонад; ифлосшавии металли гузариш ва металли вазнин (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb ва ғайра) метавонад давраи ҳаёти интиқолдиҳандаро коҳиш диҳад, мӯҳлати хидматрасонии ҷузъро коҳиш диҳад ё ҷараёни тира ҳангоми кор кардани ҷузъро зиёд кунад.

Усулҳои маъмул барои ошкор кардани ифлосшавии металлҳо флуорессенсияи рентгении пурраи инъикос, спектроскопияи абсорбсияи атомӣ ва спектрометрияи массаи плазмаи ба таври индуктивӣ пайвастшуда (ICP-MS) мебошанд.

▲ Олудашавии сатхи вафель | ResearchGate

Ифлосшавии металл метавонад аз реагентҳое, ки дар тозакунӣ, кӯзаҳо, литография, рехтан ва ғайра истифода мешаванд ё аз мошинҳои дар ин раванд истифодашаванда, ба монанди танӯрҳо, реакторҳо, имплантатсияи ионҳо ва ғайра пайдо шаванд ё он метавонад дар натиҷаи муносибати беэҳтиётона бо вализ ба амал ояд.

Ифлосшавии зарраҳо

Пасандозҳои воқеии мавод одатан тавассути муайян кардани нури пароканда аз нуқсонҳои рӯизаминӣ мушоҳида карда мешаванд. Аз ин рӯ, номи дақиқтари илмии ифлосшавии зарраҳо нуқсони нуқтаи рӯшноӣ мебошад. Ифлосшавии зарраҳо метавонад боиси басташавӣ ё ниқобкунӣ дар равандҳои қимор ва литография гардад.

Ҳангоми афзоиш ё таҳшин кардани филм сӯрохиҳо ва микробҳо ба вуҷуд меоянд ва агар зарраҳо калон ва гузаранда бошанд, онҳо ҳатто метавонанд расиши кӯтоҳро ба вуҷуд оранд.

▲ Ташаккули ифлосшавии заррачаҳо | Шабакаи манбаи тасвир

Ифлосшавии зарраҳои ночиз метавонад дар рӯи сояҳо пайдо шавад, масалан ҳангоми фотолитография. Агар зарраҳои калон дар байни фотомаска ва қабати фоторезист ҷойгир бошанд, онҳо метавонанд ҳалли таъсири тамосро кам кунанд.

Илова бар ин, онҳо метавонанд ионҳои суръатбахшро ҳангоми имплантатсияи ионҳо ё сӯзиши хушк банд кунанд. Зарраҳо инчунин метавонанд аз ҷониби филм пӯшонида шаванд, то ки дарунҳо ва зарбаҳо вуҷуд дошта бошанд. Қабатҳои минбаъдаи гузошташуда метавонанд дар ин ҷойҳо кафида ё ба ҷамъшавӣ муқовимат кунанд, ки ҳангоми таъсир боиси мушкилот гардад.

Ифлосшавии органикӣ

Ифлоскунандаҳои дорои карбон, инчунин сохторҳои пайвасткунандаи бо C, ифлосшавии органикӣ номида мешаванд. Ифлоскунандаҳои органикӣ метавонанд хосиятҳои ғайричашмдошти гидрофобиро ба вуҷуд орандсатҳи вафли, ноҳамвории рӯи заминро зиёд кунед, сатҳи абрнокро ба вуҷуд оред, афзоиши қабати эпитаксиалиро халалдор кунед ва ба таъсири тозакунии ифлосшавии металл таъсир расонад, агар ифлоскунандаҳо аввал тоза карда нашаванд.

Чунин ифлосшавии сатҳ одатан тавассути асбобҳо ба монанди MS десорбсияи гармӣ, спектроскопияи рентгении фотоэлектронӣ ва спектроскопияи электронии Auger муайян карда мешавад.

▲Шабакаи манбаи тасвир

Ифлосшавии газ ва ифлосшавии об

Молекулаҳои атмосфера ва ифлосшавии об бо андозаи молекулавӣ одатан тавассути ҳавои оддии зарраҳои баландсамар (HEPA) ё филтрҳои ҳавои ултра паст (ULPA) хориҷ карда намешаванд. Чунин ифлосшавӣ одатан тавассути масс-спектрометрияи ионҳо ва электрофорези капиллярӣ назорат карда мешавад.

Баъзе ифлоскунандаҳо метавонанд ба категорияҳои гуногун тааллуқ дошта бошанд, масалан, зарраҳо метавонанд аз маводи органикӣ ё металлӣ ё ҳарду иборат бошанд, аз ин рӯ, ин намуди ифлосшавӣ низ метавонад ба намудҳои дигар тасниф карда шавад.

▲Офтобкунандахои молекулавии газ | ИОНИКОН

Илова бар ин, ифлосшавии вафлиро инчунин аз рӯи андозаи манбаи ифлосшавӣ ҳамчун ифлосшавии молекулавӣ, ифлосшавии зарраҳо ва ифлосшавии партовҳои коркардшуда тасниф кардан мумкин аст. Чӣ қадаре ки андозаи зарраҳои ифлоскунанда хурдтар бошад, тоза кардани он ҳамон қадар мушкилтар мешавад. Дар истеҳсоли ҷузъҳои электронии имрӯза, тартиби тоза кардани вафли 30% - 40% тамоми раванди истеҳсолотро ташкил медиҳад.