Равандҳои афзоиши кристалл дар маркази истеҳсоли нимноқилҳо ҷойгиранд, ки дар он истеҳсоли вафли баландсифат аҳамияти ҳалкунанда дорад. Як ҷузъи ҷудонашавандаи ин равандҳо мебошадқаиқ вафли карбиди кремний (SiC).. Қаиқҳои вафли SiC бо сабаби иҷрои истисноӣ ва эътимоднокии худ дар соҳа эътирофи назаррас пайдо кардаанд. Дар ин мақола мо хусусиятҳои ҷолиби онро меомӯземКиштиҳои вафли SiCва нақши онҳо дар мусоидат ба афзоиши кристалл дар истеҳсоли нимноқилҳо.
Киштиҳои вафли SiCмахсус барои нигоҳ доштан ва интиқол додани вафли нимноқилӣ дар марҳилаҳои гуногуни афзоиши кристалл тарҳрезӣ шудаанд. Ҳамчун мавод, карбиди кремний маҷмӯи беназири хосиятҳои дилхоҳро пешниҳод мекунад, ки онро барои қаиқҳои вафли беҳтарин интихоб мекунад. Пеш аз ҳама қувваи барҷастаи механикии он ва устувории ҳарорати баланд аст. SiC дорои сахтӣ ва сахтии аъло мебошад, ки ба он имкон медиҳад, ки ба шароитҳои шадид дар ҷараёни афзоиши кристаллҳо тоб оварад.
Яке аз афзалиятҳои асосииКиштиҳои вафли SiCгармии истисноии онҳост. Парокандашавии гармӣ омили муҳими афзоиши кристалл мебошад, зеро он ба якрангии ҳарорат таъсир мерасонад ва фишори гармиро дар вафлиҳо пешгирӣ мекунад. Қобилияти баланди гармидиҳии SiC интиқоли гармидиҳии гармро осон карда, тақсимоти доимии ҳароратро дар вафлиҳо таъмин мекунад. Ин хосият махсусан дар равандҳо, ба монанди афзоиши эпитаксиалӣ муфид аст, ки дар он ҷо назорати дақиқи ҳарорат барои ба даст овардани якхелаи қабати филм муҳим аст.
Илова бар ин,Киштиҳои вафли SiCбеэътиноии аълои химиявй нишон медиханд. Онҳо ба доираи васеи кимиёвии зангзананда ва газҳое, ки одатан дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, тобоваранд. Ин устувории химиявиро таъмин мекунадКиштиҳои вафли SiCбеайбӣ ва иҷрои онҳоро дар таъсири дарозмуддат ба муҳити сахти раванд нигоҳ доранд. муқовимат ба ҳамлаи кимиёвӣ ифлосшавӣ ва таназзули маводро пешгирӣ карда, сифати вафли парваришшавандаро ҳифз мекунад.
Устувории андозагирии қаиқҳои вафли SiC ҷанбаи дигари қобили таваҷҷӯҳ аст. Онҳо тарҳрезӣ шудаанд, ки шакл ва шакли худро ҳатто дар ҳарорати баланд нигоҳ доранд ва ҷойгиршавии дақиқи вафлиҳоро ҳангоми афзоиши кристалл таъмин мекунанд. Устувории андозагирӣ ҳама гуна деформатсия ё каҷшавии қаиқро ба ҳадди ақал мерасонад, ки метавонад ба номутаносибӣ ё афзоиши якранг дар тамоми вафлиҳо оварда расонад. Ин ҷойгиркунии дақиқ барои ноил шудан ба самти дилхоҳи кристаллографӣ ва якрангӣ дар маводи нимноқилҳои натиҷавӣ муҳим аст.
Қаиқҳои вафли SiC инчунин хосиятҳои олии электрикиро пешниҳод мекунанд. Карбиди кремний як маводи нимноқилест, ки бо фарогирии фарох ва шиддати баланди шикасташ тавсиф мешавад. Хусусиятҳои электрикии SiC ҳадди ақали ихроҷи барқ ва дахолатро ҳангоми равандҳои афзоиши кристалл таъмин мекунанд. Ин махсусан ҳангоми парвариши дастгоҳҳои пуриқтидор ё кор бо сохторҳои ҳассоси электронӣ муҳим аст, зеро он барои нигоҳ доштани якпорчагии маводи нимноқилҳои истеҳсолшаванда кӯмак мекунад.
Илова бар ин, қаиқҳои вафли SiC бо дарозумрӣ ва истифодаи дубораи худ маълуманд. Онҳо умри дарози корӣ доранд, ки қобилияти тоб додан ба давраҳои зиёди афзоиши кристаллро бидуни бадшавии назаррас доранд. Ин устуворӣ ба самаранокии хароҷот табдил меёбад ва зарурати ивазкунии зуд-зудро кам мекунад. Истифодаи такрории қаиқҳои вафли SiC на танҳо ба таҷрибаҳои устувори истеҳсолӣ мусоидат мекунад, балки инчунин иҷрои пайваста ва эътимодро дар равандҳои афзоиши кристалл таъмин мекунад.
Хулоса, қаиқҳои вафли SiC як ҷузъи ҷудонашавандаи афзоиши кристалл барои истеҳсоли нимноқилҳо гардиданд. Қувваи истисноии механикии онҳо, устувории баланд дар ҳарорат, гузаронандагии гармидиҳӣ, ғайрифаъолияти кимиёвӣ, устувории андозагирӣ ва хосиятҳои электрикӣ онҳоро дар мусоидат ба равандҳои афзоиши кристалл хеле матлуб мекунанд. Қаиқҳои вафли SiC тақсимоти якхелаи ҳароратро таъмин мекунанд, ифлосшавиро пешгирӣ мекунанд ва ҷойгиркунии дақиқи вафлиҳоро имкон медиҳанд, ки дар ниҳоят ба истеҳсоли маводи нимноқилҳои баландсифат оварда расонанд. Азбаски талабот ба дастгоҳҳои пешрафтаи нимноқил афзоиш меёбад, аҳамияти қаиқҳои вафли SiC дар ноил шудан ба афзоиши оптималии кристалл наметавонад аз ҳад зиёд арзёбӣ шавад.
Вақти фиристодан: апрел-08-2024