Саноати нимноқилҳо шоҳиди афзоиши бесобиқа аст, махсусан дар соҳаикарбиди кремний (SiC)электроникаи энергетикӣ. Бо бисёр миқёси калонвафлифабрикаҳое, ки барои қонеъ кардани талаботи афзоянда ба дастгоҳҳои SiC дар мошинҳои барқӣ сохта мешаванд ё васеъ карда мешаванд, ин авҷ барои афзоиши фоида имкониятҳои назаррас фароҳам меорад. Бо вуҷуди ин, он инчунин мушкилоти беназиреро ба миён меорад, ки ҳалли инноватсионӣ талаб мекунанд.
Дар маркази афзоиши истеҳсоли чипҳои ҷаҳонии SiC истеҳсоли кристаллҳои баландсифати SiC, вафлиҳо ва қабатҳои эпитаксиалӣ мебошад. Ин ҷо,графити нимноқилӣмаводҳо нақши муҳим мебозанд, ки ба афзоиши кристаллҳои SiC ва таҳшиншавии қабатҳои эпитаксиалии SiC мусоидат мекунанд. Изолятсияи гармидиҳӣ ва бефаъолиятии графит онро ба маводи афзалиятнок табдил медиҳад, ки ба таври васеъ дар тигелҳо, пояҳо, дискҳои сайёра ва моҳвораҳо дар дохили системаҳои афзоиши кристалл ва эпитаксия истифода мешавад. Бо вуҷуди ин, шароити сахти раванд мушкилоти ҷиддиеро ба вуҷуд меорад, ки боиси таназзули босуръати ҷузъҳои графит мегардад ва баъдан ба истеҳсоли кристаллҳои баландсифати SiC ва қабатҳои эпитаксиалӣ монеъ мешавад.
Истеҳсоли кристаллҳои карбиди кремний шароитҳои хеле сахти равандро, аз ҷумла ҳарорати аз 2000°C зиёд ва моддаҳои гази хеле зангзанандаро ба вуҷуд меорад. Ин аксар вақт ба зангзании пурраи тигелҳои графитӣ пас аз якчанд давраҳои раванд оварда мерасонад ва ба ин васила хароҷоти истеҳсолиро афзоиш медиҳад. Илова бар ин, шароити сахт хосиятҳои сатҳи ҷузъҳои графитро тағир дода, такроршавандагӣ ва устувории раванди истеҳсолиро зери хатар мегузоранд.
Барои мубориза бо ин мушкилот самаранок, технологияи пӯшиши муҳофизатӣ ҳамчун тағирдиҳандаи бозӣ пайдо шуд. Сарпӯшҳои муҳофизатӣ дар асосикарбиди тантал (TaC)барои халли масъалахои таназзули компонентхои графит ва нарасидани таъминоти графит чорй карда шудаанд. Маводҳои TaC ҳарорати обшавии зиёда аз 3800 ° C ва муқовимати истисноии кимиёвӣ нишон медиҳанд. Истифодаи технологияи таҳшини буғи кимиёвӣ (CVD),Сарпӯшҳои TaCки гафсиаш то 35 миллиметр аст, бефосила дар болои кисмхои графит гузоштан мумкин аст. Ин қабати муҳофизатӣ на танҳо устувории моддиро беҳтар мекунад, балки мӯҳлати хизмати ҷузъҳои графитро ба таври назаррас дароз мекунад ва дар натиҷа хароҷоти истеҳсолотро коҳиш медиҳад ва самаранокии амалиётро баланд мебардорад.
Semicera, як провайдери пешбариСарпӯшҳои TaC, дар кори революциям саноати нимнокилхо ба амал ома-дааст. Бо технологияи пешрафтаи худ ва ӯҳдадориҳои бемайлон ба сифат, Semicera ба истеҳсолкунандагони нимноқил имкон дод, ки мушкилоти муҳимро паси сар кунанд ва ба қуллаҳои нави муваффақият ноил шаванд. Бо пешниҳоди пӯшишҳои TaC бо иҷрои беҳамто ва эътимоднокӣ, Semicera мавқеи худро ҳамчун шарики боэътимод барои ширкатҳои нимноқил дар саросари ҷаҳон мустаҳкам кард.
Хулоса, технологияи пӯшиши муҳофизатӣ, ки аз ҷониби навовариҳо ба монандиСарпӯшҳои TaCаз Semicera, манзараи нимноқилро тағир медиҳад ва роҳро барои ояндаи бештар муассир ва устувор мекушояд.
Вақти фиристодан: 16 май-2024