Анҷоми пеш, миёна ва қафои хатҳои истеҳсоли нимноқилҳо
Раванди истеҳсоли нимноқилҳоро тақрибан ба се марҳила тақсим кардан мумкин аст:
1) Дар охири сатр
2) Дар охири сатр
3) Дар охири сатр
Мо метавонем як аналогияи оддиро ба мисли сохтани хона барои омӯхтани раванди мураккаби истеҳсоли чип истифода барем:
Пеши хатти истехсолй ба гузоштани тахкурсй ва сохтани девори хона монанд аст. Дар истеҳсоли нимноқилҳо, ин марҳила эҷоди сохторҳо ва транзисторҳои асосиро дар пластинкаи кремний дар бар мегирад.
Қадамҳои асосии FEOL:
1.Тозакунӣ: Бо вафли тунуки кремний оғоз кунед ва онро тоза кунед, то ҳама гуна наҷосатро тоза кунед.
2.Oxidation: Барои ҷудо кардани қисмҳои гуногуни чип як қабати диоксиди кремнийро дар вафли парвариш кунед.
3.Фотолитография: Аз фотолитография истифода баред, то намунаҳоро ба вафли нақш кашед, ки ба кашидани нақшаҳо бо рӯшноӣ монанд аст.
4.Etching: Etch дур оксиди кремний номатлуб барои ошкор намудани намунаҳои дилхоҳро.
5.Допинг: Ба кремний ифлосҳо ворид кунед, то хосиятҳои электрикии онро тағир диҳед, транзисторҳо, блокҳои бунёдии ҳама гуна чипҳоро эҷод кунед.
Миёнаи охири сатр (MEOL): Пайваст кардани нуқтаҳо
Охири миёнаи хатти истеҳсолӣ ба насб кардани сим ва водопровод дар хона монанд аст. Ин марҳила ба барқарор кардани робитаҳо байни транзисторҳое, ки дар марҳилаи FEOL сохта шудаанд, тамаркуз мекунад.
Қадамҳои асосии MEOL:
1.Гаводиди диэлектрикӣ: Барои муҳофизат кардани транзисторҳо қабатҳои изолятсионӣ (диэлектрикҳо ном доранд) гузоред.
2.Ташаккули тамос: Барои пайваст кардани транзисторҳо ба ҳамдигар ва ҷаҳони беруна алоқаҳо ташкил кунед.
3. Пайвастшавӣ: Илова кардани қабатҳои металлӣ барои эҷод кардани роҳҳо барои сигналҳои барқӣ, ба монанди сими хона барои таъмини қувваи бефосила ва ҷараёни маълумот.
Бозгашти охири хат (BEOL): Ласҳои ниҳоӣ
Қисми қафои хати истеҳсолӣ ба монанди илова кардани ламсҳои ниҳоӣ ба хона аст - насб кардани асбобҳо, ранг кардан ва таъмини ҳама кор. Дар истеҳсоли нимноқилҳо, ин марҳила илова кардани қабатҳои ниҳоӣ ва омода кардани чипро барои бастабандӣ дар бар мегирад.
Қадамҳои асосии BEOL:
1.Қабатҳои металлии иловагӣ: Илова кардани қабатҳои металлии сершумор барои баланд бардоштани пайвастшавӣ, кафолат диҳед, ки чип метавонад вазифаҳои мураккаб ва суръати баландро иҷро кунад.
2.Пассиватсия: Қабатҳои муҳофизатиро барои муҳофизат кардани чип аз зарари муҳити зист татбиқ кунед.
3.Санҷиш: Чипро ба озмоиши сахт гузоред, то боварӣ ҳосил кунед, ки он ба ҳама мушаххасот мувофиқат мекунад.
4.Dicing: Вафлиро ба микросхемаҳои инфиродӣ буред, ки ҳар як барои бастабандӣ ва истифода дар дастгоҳҳои электронӣ омода аст.
Semicera як истеҳсолкунандаи пешбари OEM дар Чин мебошад, ки барои пешниҳоди арзиши истисноӣ ба мизоҷони мо бахшида шудааст. Мо маҷмӯи пурраи маҳсулот ва хидматҳои баландсифатро пешниҳод менамоем, аз ҷумла:
1.Сарпӯши CVD SiC(Эпитаксия, қисмҳои фармоишии CVD-пӯшонидашуда, рӯйпӯшҳои баландсифат барои замимаҳои нимноқил ва ғайра)
2.Қисмҳои оммавии CVD SiC(ҳалқаҳои Etch, ҳалқаҳои фокус, ҷузъҳои фармоишии SiC барои таҷҳизоти нимноқил ва ғайра)
3.Қисмҳои пӯшидаи CVD TaC(Epitaxy, афзоиши вафли SiC, барномаҳои ҳарорати баланд ва ғайра)
4.Қисмҳои графитӣ(Қаиқҳои графитӣ, ҷузъҳои графити фармоишӣ барои коркарди ҳарорати баланд ва ғайра)
5.Қисмҳои SiC(Қаиқҳои SiC, қубурҳои оташдонҳои SiC, ҷузъҳои фармоишии SiC барои коркарди пешрафтаи мавод ва ғайра)
6.Қисмҳои кварц(Қаиқҳои кварцӣ, қисмҳои кварцӣ барои саноати нимноқилӣ ва офтобӣ ва ғайра)
Уҳдадориҳои мо ба аълосифат кафолат медиҳад, ки мо барои соҳаҳои мухталиф, аз ҷумла истеҳсоли нимноқилҳо, коркарди маводи пешрафта ва барномаҳои баландтехнологӣ ҳалли инноватсионӣ ва боэътимод пешниҳод кунем. Бо таваҷҷӯҳ ба дақиқ ва сифат, мо барои қонеъ кардани ниёзҳои беназири ҳар як муштарӣ бахшидаем.
Вақти интишор: Декабри 09-2024