Пеши хатти истехсолй ба гузоштани тахкурсй ва сохтани девори хона монанд аст. Дар истеҳсоли нимноқилҳо, ин марҳила эҷоди сохторҳо ва транзисторҳои асосиро дар вафли кремнийро дар бар мегирад.
Қадамҳои асосии FEOL:
1. Тозакунӣ:Бо вафли тунуки кремний оғоз кунед ва онро тоза кунед, то ҳама гуна наҷосатро тоза кунед.
2. Оксидшавӣ:Барои ҷудо кардани қисмҳои гуногуни чип дар вафли як қабати диоксиди кремний парвариш кунед.
3. Фотолитография:Фотолитографияро барои кашидани нақшҳо ба вафли истифода баред, ба монанди кашидани нақшаҳо бо нур.
4. Эзоҳ:Диоксиди кремнийи номатлубро нест кунед, то намунаҳои дилхоҳро ошкор кунед.
5. Допинг:Ба кремний ифлосҳоро ворид кунед, то хосиятҳои электрикии онро тағир диҳед, транзисторҳо, блокҳои бунёдии ҳама гуна чипҳоро эҷод кунед.
Миёнаи охири сатр (MEOL): Пайваст кардани нуқтаҳо
Охири миёнаи хатти истеҳсолӣ ба насби сим ва водопровод дар хона монанд аст. Ин марҳила ба барқарор кардани робитаҳо байни транзисторҳое, ки дар марҳилаи FEOL сохта шудаанд, тамаркуз мекунад.
Қадамҳои асосии MEOL:
1. Ҷойгиршавии диэлектрикӣ:Барои муҳофизат кардани транзисторҳо қабатҳои изолятсияро (диэлектрикҳо меноманд) гузоред.
2. Ташаккули тамос:Барои пайваст кардани транзисторҳо ба ҳамдигар ва ҷаҳони беруна алоқаҳо ташкил кунед.
3. Пайвастшавӣ:Барои эҷод кардани роҳҳо барои сигналҳои барқ қабатҳои металлӣ илова кунед, ба монанди сими хона барои таъмини қувваи бефосила ва ҷараёни маълумот.
Бозгашти охири хат (BEOL): Ласҳои ниҳоӣ
-
Қисми қафои хати истеҳсолӣ ба монанди илова кардани ламсҳои ниҳоӣ ба хона аст - насб кардани асбобҳо, ранг кардан ва таъмини ҳама кор. Дар истеҳсоли нимноқилҳо, ин марҳила илова кардани қабатҳои ниҳоӣ ва омода кардани чипро барои бастабандӣ дар бар мегирад.
Қадамҳои асосии BEOL:
1. Қабатҳои иловагии металлӣ:Барои баланд бардоштани пайвастшавӣ қабатҳои зиёди металлӣ илова кунед, то чип метавонад вазифаҳои мураккаб ва суръати баландро иҷро кунад.
2. Пассиватсия:Барои муҳофизат кардани чип аз зарари муҳити зист қабатҳои муҳофизатиро истифода баред.
3. Санҷиш:Чипро ба озмоиши ҷиддӣ гузоред, то боварӣ ҳосил кунед, ки он ба ҳама мушаххасот мувофиқат мекунад.
4. Буридани:Вафлиро ба микросхемаҳои инфиродӣ буред, ки ҳар яке барои бастабандӣ ва истифода дар дастгоҳҳои электронӣ омода аст.
Вақти фиристодан: июл-08-2024