Дар истеҳсоли нимноқилҳо як техникае мавҷуд аст, ки ҳангоми коркарди субстрат ё плёнкаи тунуке, ки дар зеризаминӣ ба вуҷуд омадааст, "этching" ном дорад. Рушди технологияи қимор дар амалӣ шудани пешгӯии асосгузори Intel Гордон Мур дар соли 1965 нақш бозид, ки «зичии интегратсияи транзисторҳо дар давоми 1,5-2 сол дучанд мешавад» (маълумот, ки маъмулан «Қонуни Мур» маъруф аст).
Эчтинг раванди "иловакунанда" ба монанди таҳшин ё пайвастшавӣ нест, балки раванди "тарҳиш" аст. Илова бар ин, аз рӯи усулҳои гуногуни кандакорӣ, он ба ду категория тақсим мешавад, яъне "касбкунии тар" ва "кӯзакунии хушк". Агар содда карда гуем, якум усули гудохтан ва дуюмаш усули кофтан аст.
Дар ин мақола, мо ба таври мухтасар хусусиятҳо ва фарқиятҳои ҳар як технологияи etching, etching тар ва etching хушк, инчунин соҳаҳои татбиқ, ки ҳар кадоми онҳо мувофиқ аст, шарҳ медиҳем.
Баррасии раванди пошидан
Гуфта мешавад, ки технологияи etching дар Аврупо дар миёнаҳои асри 15 пайдо шудааст. Дар он вақт ба табақи мисии кандакорӣ кислота рехтанд, то миси урёнро занг занад ва инталияро ба вуҷуд овард. Усулҳои коркарди рӯизаминӣ, ки аз таъсири зангзанӣ истифода мебаранд, ба таври васеъ ҳамчун "этчинг" маъруфанд.
Мақсади раванди etching дар истеҳсоли нимноқилҳо аз рӯи расм буридани субстрат ё филм дар рӯи замин мебошад. Бо такрор кардани марҳилаҳои омодагии ташаккули филм, фотолитография ва штамп, сохтори ҳамворӣ ба сохтори сеченака коркард карда мешавад.
Фарқи байни etching тар ва etching хушк
Пас аз раванди фотолитография, субстрати фошшуда дар раванди etching тар ё хушк карда мешавад.
Оташи тар маҳлулро барои кашиш ва харошидан аз рӯи он истифода мебарад. Гарчанде ки ин усулро зуд ва арзон коркард кардан мумкин аст, камбудии он дар он аст, ки дақиқии коркард каме пасттар аст. Аз ин рӯ, etching хушк тақрибан соли 1970 таваллуд шудааст. Оташи хушк маҳлулро истифода намебарад, балки газро барои зарба задан ба сатҳи субстрат барои харошидан истифода мебарад, ки бо дақиқии баланди коркард хос аст.
"Изотропия" ва "Анизотропия"
Ҳангоми ворид кардани фарқи байни ҷӯйборкунии тар ва хушкӣ калимаҳои муҳим "изотропӣ" ва "анизотропӣ" мебошанд. Изотропия маънои онро дорад, ки хосиятҳои физикии модда ва фазо бо самт тағир намеёбанд ва анизотропия маънои онро дорад, ки хосиятҳои физикии модда ва фазо бо самт фарқ мекунанд.
Оташшикании изотропӣ маънои онро дорад, ки кашиш дар атрофи як нуқтаи муайян ба миқдори якхела ҷараён мегирад ва анизотропӣ маънои онро дорад, ки кашиш ба самтҳои гуногун дар атрофи як нуқтаи муайян мегузарад. Масалан, ҳангоми коркарди нимноқилҳо анизотропӣ одатан тавре интихоб карда мешавад, ки танҳо самти мақсаднок канда шавад ва дигар самтҳо бетағйир боқӣ монанд.
Тасвирҳои "Etch изотропӣ" ва "Etch анизотропӣ"
Гирифтани тар бо истифода аз кимиёвӣ.
Гӯшти тар реаксияи химиявии байни кимиёвӣ ва субстратро истифода мебарад. Бо ин усул кандакории анизотропӣ ғайриимкон нест, аммо он нисбат ба гаҳиши изотропӣ хеле мушкилтар аст. Дар омезиши маҳлулҳо ва маводҳо маҳдудиятҳои зиёде мавҷуданд ва шароитҳо ба монанди ҳарорати субстрат, консентратсияи маҳлул ва миқдори илова бояд ба таври қатъӣ назорат карда шаванд.
Новобаста аз он ки шароитҳо то чӣ андоза хуб танзим карда шудаанд, коркарди тар аз 1 мкм ба даст овардан душвор аст. Яке аз сабабҳои ин зарурати назорат кардани сӯзиши паҳлӯ мебошад.
Камбуриш як падидаест, ки бо номи зербурӣ низ маълум аст. Ҳатто агар умедвор шуда бошад, ки мавод танҳо дар самти амудӣ (самти амиқ) тавассути пошидани тар маҳлул мешавад, аз бархӯрдани маҳлул ба паҳлӯҳо комилан пешгирӣ кардан ғайриимкон аст, бинобар ин обшавии мавод дар самти параллелӣ ногузир идома меёбад. . Аз сабаби ин падида, пошидани тар ба таври тасодуфӣ қисматҳоеро ба вуҷуд меорад, ки аз паҳнои ҳадаф тангтаранд. Ба хамин тарик, хангоми коркарди махсулоте, ки назорати дакики чориро талаб мекунад, такрористехсолкунй паст ва дакикии он беэътимод аст.
Намунаҳои нокомиҳои эҳтимолӣ дар пошидани тар
Чаро etching хушк барои micromechining мувофиқ аст
Тавсифи санъати марбут Оташи хушк, ки барои анизотропӣ мувофиқ аст, дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешавад, ки коркарди дақиқи баландро талаб мекунанд. Оташи хушкро аксар вақт ҳамчун лотинии ионҳои реактивӣ (RIE) меноманд, ки он метавонад ба маънои васеъ пошидани плазма ва пошидани поширо низ дар бар гирад, аммо ин мақола ба RIE тамаркуз хоҳад кард.
Барои фаҳмонидани он, ки чаро эшони анизотропӣ бо кашишҳои хушк осонтар аст, биёед ба раванди RIE муфассалтар назар андозем. Бо тақсим кардани раванди пошидани хушк ва канда кардани субстрат ба ду намуд: "ошоркунии кимиёвӣ" ва "очоркунии ҷисмонӣ" фаҳмидан осон аст.
Гирифтани кимиёвӣ дар се марҳила сурат мегирад. Аввалан, газҳои реактивӣ дар рӯи замин адсорб мешаванд. Пас аз он, аз гази реаксия ва маводи субстрат маҳсулоти реаксия ба вуҷуд меоянд ва дар ниҳоят маҳсулоти реаксия десорбатсия карда мешаванд. Ҳангоми пошидани физикии минбаъда, субстрат тавассути истифодаи амудии гази аргон ба субстрат амудӣ ба поён кашида мешавад.
Гирифтани кимиёвӣ ба таври изотропӣ рух медиҳад, дар ҳоле ки пошидани физикӣ метавонад тавассути назорати самти истифодаи газ ба таври анизотропӣ ба амал ояд. Аз сабаби ин кӯзаҳои ҷисмонӣ, абрешими хушк имкон медиҳад, ки нисбат ба рахи тар бештар самти равишро назорат кунад.
Оташи хушк ва тар низ ҳамон шароитҳои қатъиро ба мисли пошидани тар талаб мекунад, аммо он нисбат ба абрешими тар қобилиятнокии баландтар дорад ва дорои бисёр чизҳои осонтарини идорашаванда мебошад. Аз ин ру, чои шубхае нест, ки пошидани хушк ба истехсолоти саноатй бештар мусоид аст.
Чаро то ҳол пошидани тар лозим аст
Пас аз он ки шумо офариниши хушки ба назар қодирро дарк мекунед, шумо метавонед ҳайрон шавед, ки чаро эшони тар ҳанӯз вуҷуд дорад. Аммо сабаб оддист: обшуй нам махсулотро арзон мегардонад.
Фарқи асосии байни абрешимҳои хушк ва тар кардан арзиши он аст. Моддаҳои кимиёвӣ, ки дар коркарди тар истифода мешаванд, он қадар гарон нестанд ва гуфта мешавад, ки нархи худи таҷҳизот тақрибан 1/10 аз таҷҳизоти абрешими хушк аст. Гайр аз ин, мухлати коркард кутох буда, дар як вакт якчанд субстратхо кор карда баромада шуда, харочоти истехсолот кам мешавад. Дар натиҷа, мо метавонем арзиши маҳсулотро паст нигоҳ дорем ва ба мо нисбат ба рақибони худ бартарӣ диҳем. Агар талабот ба дақиқии коркард баланд набошад, бисёр ширкатҳо барои истеҳсоли оммавии ноҳамвор etching тарро интихоб мекунанд.
Раванди etching ҳамчун раванде ҷорӣ карда шуд, ки дар технологияи микрофабрика нақш мебозад. Раванди кандакорӣ тақрибан ба etching тар ва etching хушк тақсим мешавад. Агар арзиш муҳим бошад, аввалинаш беҳтар аст ва агар коркарди микропросесси камтар аз 1 мкм лозим бошад, дуюмаш беҳтар аст. Идеалӣ, равандро дар асоси маҳсулоти истеҳсолшаванда ва арзиши он интихоб кардан мумкин аст, на он ки кадоме беҳтар аст.
Вақти фиристодан: апрел-16-2024