CVD SiC чист
Ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD) як раванди таҳшинсозии вакуумӣ мебошад, ки барои истеҳсоли маводи сахти тозаи баланд истифода мешавад. Ин раванд аксар вақт дар соҳаи истеҳсоли нимноқилҳо барои ташаккули филмҳои тунук дар рӯи вафлиҳо истифода мешавад. Дар ҷараёни тайёр кардани SiC тавассути CVD, субстрат ба як ё якчанд прекурсорҳои идоранашаванда дучор мешавад, ки дар рӯи субстрат ба таври кимиёвӣ реаксия карда, кони дилхоҳи SiC-ро мегузоранд. Дар байни усулҳои зиёди тайёр кардани маводи SiC, маҳсулоте, ки тавассути таҳшин кардани буғи химиявӣ омода карда шудааст, якранг ва тозагии баланд доранд ва усул қобилияти идоракунии қавии раванд дорад.
Маводҳои CVD SiC барои истифода дар саноати нимноқилҳо хеле мувофиқанд, ки аз сабаби омезиши беназири хосиятҳои гармидиҳӣ, электрикӣ ва химиявӣ маводи баландсифатро талаб мекунанд. Ҷузъҳои CVD SiC ба таври васеъ дар таҷҳизоти etching, таҷҳизоти MOCVD, таҷҳизоти Si epitaxial ва таҷҳизоти epitaxial SiC, таҷҳизоти коркарди гармидиҳӣ зуд ва дигар соҳаҳо истифода бурда мешавад.
Дар маҷмӯъ, бузургтарин сегменти бозори ҷузъҳои CVD SiC ҷузъҳои таҷҳизоти кандакорӣ мебошад. Аз сабаби реактивӣ ва ноқилияти пасти худ ба газҳои хлордор ва фтордор, карбиди кремнийи CVD як маводи беҳтарин барои ҷузъҳо ба монанди ҳалқаҳои фокус дар таҷҳизоти плазма аст.
ҷузъҳои карбиди кремний CVD дар таҷҳизоти etching дохил ҳалқаҳо фокус, роҳбарони душ газ, ҷўйборҳои, ҳалқаҳо канори ва ғайра. Бо назардошти ҳалқаи фокус ҳамчун намуна, ҳалқаи фокус ҷузъи муҳими ҷойгир берун вафли ва бевосита дар тамос бо вафли аст. Бо истифодаи шиддат ба ҳалқа барои тамаркуз кардани плазмае, ки аз ҳалқа мегузарад, плазма ба вафель равона карда мешавад, то якрангии коркардро беҳтар кунад.
Ҳалқаҳои фокусии анъанавӣ аз кремний ё кварц сохта шудаанд. Бо пешрафти миниатюризатсияи микросхемаҳои интегралӣ, талабот ва аҳамияти равандҳои эҳёгарӣ дар истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ афзоиш ёфта, қувват ва энергияи плазмаи пошидани плазма афзоиш меёбад. Махсусан, энергияи плазма, ки барои таҷҳизоти плазмаи бо ҳам пайвастшуда (CCP) талаб карда мешавад, баландтар аст, аз ин рӯ суръати истифодаи ҳалқаҳои фокусӣ аз маводи карбиди кремний меафзояд. Диаграммаи схематикии ҳалқаи фокусии карбиди кремнийи CVD дар зер нишон дода шудааст:
Вақти фиристодан: июн-20-2024