Киштии графити изостатикии PECVD

Тасвири барҷастаи графити изостатикии PECVD

Тавсифи кӯтоҳ:

Киштии графитӣ изостатикии PECVD аст, ки ба таври васеъ дар пайвандҳо гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо истифода бурда мешавад, ба монанди таҳшин филми polysilicon, пошидани филми оксиди, пошидани филми nitride ва ғайра. Иҷрои аъло он онро як интиқолдиҳанда вафли идеалӣ дар раванди PECVD месозад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Киштии графитӣ изостатикии SEMICERA PECVD як маҳсулоти графити баландсифат ва зичии баланд аст, ки барои дастгирии вафель дар раванди PECVD (таҳвили буғи химиявии плазма) пешбинӣ шудааст. SEMICERA технологияи пешрафтаи фишурдани изостатикиро истифода мебарад, то ки киштии графит муқовимати аълои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва гузариши хуби гармиро дошта бошад, ки дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо масрафи ҳатмӣ мебошад.

Киштии графити изостатикии SEMICERA PECVD бартариҳои зерин дорад:

▪ Тозагии баланд: Маводи графит дорои тозагии баланд ва миқдори ками наҷосат аст, то ифлосшавии сатҳи вафлиро пешгирӣ кунад.

▪ Зичии баланд: Зичии баланд, қувваи баланди механикӣ, метавонад ба ҳарорати баланд ва муҳити баланди вакуум тоб оварад.

▪ Устувории хуби андоза: Тағйири андозаи хурд дар ҳарорати баланд барои таъмини устувории раванд.

▪ Қобилияти аълои гармӣ: гармиро самаранок интиқол диҳед, то аз ҳад зиёд гарм шудани вафлиро пешгирӣ кунед.

▪ Муқовимат ба зангзании қавӣ: Қобилияти муқовимат ба эрозия тавассути газҳои гуногуни зангзананда ва плазма.

Параметри иҷроиш	нимчарха	SGL R6510	Параметри иҷроиш
Зичии масса (г/см3)	1,91	1,83	1,85
Қувваи печидан (МПа)	63	60	49
Қувваи фишор (МПа)	135	130	103
Сахтии соҳил (HS)	70	64	60
Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (10-6 / К)	85	105	130
Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (10-6 / К)	5.85	4.2	5.0
Муқовимат (μΩm)	11-13	13	10

Афзалиятҳои интихоби мо:
▪ Интихоби мавод: Барои таъмини сифати маҳсулот маводҳои графити тоза истифода мешаванд.
▪ Технологияи коркард: Пресскунии изостатикӣ барои таъмини зичӣ ва якрангии маҳсулот истифода мешавад.
▪ Мутобиқсозии андоза: Киштиҳои графити андоза ва шаклҳои гуногунро мувофиқи ниёзҳои муштарӣ фармоиш додан мумкин аст.
▪ Коркарди рӯизаминӣ: Усулҳои гуногуни коркарди рӯизаминӣ, аз қабили пӯшонидани карбиди кремний, нитриди бор ва ғ. барои қонеъ кардани талаботҳои гуногуни раванд таъмин карда мешаванд.