Қисмҳои сахти CVD силикон карбиди ҳамчун интихоби асосӣ барои ҳалқаҳо ва пойгоҳҳои RTP/EPI ва қисмҳои холигии плазма, ки дар ҳарорати баланди кори система кор мекунанд (> 1500 ℃), талабот ба тозагӣ махсусан баланд аст (> 99,9995%) ва нишондиханда махсусан дар он вакте хуб аст, ки мукобилат ба моддахои химиявй махсусан баланд аст. Ин маводҳо дар канори ғалла фазаҳои дуюмдараҷа надоранд, аз ин рӯ ҷузъҳои онҳо нисбат ба дигар маводҳо зарраҳои камтар тавлид мекунанд. Илова бар ин, ин ҷузъҳоро бо истифода аз HF/HCl гарм бо таназзули каме тоза кардан мумкин аст, ки дар натиҷа зарраҳои камтар ва мӯҳлати хидмат дарозтар мешавад.
