Semicera барои ҷузъҳо ва интиқолдиҳандагони гуногун рӯйпӯшҳои махсуси карбиди танталиро (TaC) таъмин мекунад.Раванди пешбари пӯшонидани Semicera ба рӯйпӯшҳои карбиди танталӣ (TaC) имкон медиҳад, ки тозагии баланд, устувории ҳарорати баланд ва таҳаммулпазирии баланди кимиёвӣ, беҳтар кардани сифати маҳсулоти кристаллҳои SIC/GAN ва қабатҳои EPI (Ҳасбкунандаи TaC бо графитӣ) ва дароз кардани умри ҷузъҳои асосии реактор. Истифодаи пӯшиши тантали карбиди TaC барои ҳалли мушкилоти канорӣ ва беҳтар кардани сифати афзоиши кристалл мебошад ва Semicera рахнашавии технологияи пӯшиши карбиди танталиро (CVD) ҳал карда, ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расидааст.
Бо пайдоиши вафли 8-дюймаи карбиди кремний (SiC), талабот ба равандҳои гуногуни нимноқилҳо, махсусан барои равандҳои эпитаксия, ки ҳарорат метавонад аз 2000 дараҷа зиёд бошад, сахттар шудааст. Маводҳои ҳассосияти анъанавӣ, ба монанди графит, ки бо карбиди кремний пӯшонида шудаанд, одатан дар ин ҳарорати баланд сублиматсия шуда, раванди эпитаксияро халалдор мекунанд. Бо вуҷуди ин, карбиди танталии CVD (TaC) ин масъаларо ба таври муассир ҳал мекунад, ки ба ҳарорати то 2300 дараҷа тобовар аст ва мӯҳлати хидматрасониро пешниҳод мекунад. Тамос бо Semicera's CVD тантал карбиди Камушки нимсолаи болоӣто дар бораи ҳалли пешрафтаи мо бештар омӯзед.
Пас аз солҳои рушд, Semicera технологияи онро забт кардCVD TaCбо чидду чахди якчояи шуъбаи тадкикоти илмй. Дар раванди афзоиши вафли SiC камбудиҳо ба осонӣ ба амал меоянд, аммо пас аз истифодаTaC, тафовут назаррас аст. Дар зер муқоисаи вафли бо ва бе TaC, инчунин қисмҳои Simicera барои афзоиши монокристалл оварда шудааст.
бо ва бе TaC
Пас аз истифодаи TaC (аз рост)
Илова бар ин, SemiceraМаҳсулоти бо TaC пӯшидашудамӯҳлати хизмати дарозтар ва муқовимати бештар ба ҳарорати баланд дар муқоиса боСарпӯши SiC.Ченкунии лабораторй нишон дод, ки моСарпӯшҳои TaCметавонад пайваста дар ҳарорати то 2300 дараҷа дар муддати тӯлонӣ кор кунад. Дар зер чанд намунаи намунаҳои мо ҳастанд:
Ҳасбкунанда бо пӯшонидашудаи TaC
Графит бо реактори TaC пӯшида
