Муқаддима ба молидани карбиди кремний
Дафстони химиявии мо (SVD) Розигии кредитии мо (SIC) Caricon Carbide (SIC) як қабати баландошёна ва пӯшида мебошад, ки барои муҳит аз корпусҳо ва муқовимати гармӣ беҳтарин аст.Кошобии карбиси карбидДар қабатҳои борик дар қабатҳои нав аз рӯи субстромҳои гуногун тавассути раванди CVD татбиқ карда мешаванд ва хусусиятҳои олиро пешниҳод мекунанд.
Хусусиятҳои асосӣ
● -Покагии истисноӣ: Фахр кардани таркиби ултра-пок99.99995%, моПӯшидани sicхатари ифлосшавиро дар амалиёти ҳассоси нимноқилҳо кам мекунад.
● Муқовимати-муқовимати: Ҳам ба фарсудашавӣ ва ҳам зангзанӣ муқовимати аъло нишон медиҳад, ки онро барои душвориҳои кимиёвӣ ва плазма комил месозад.
● -Гароратгузаронии баланд: Аз сабаби хусусиятҳои аз ҳад зиёд иҷрошавии боэътимодро таъмин менамояд.
● Устувории: Дар тамоми доираи васеи ҳарорат беайбии сохторӣ, ба шарофати коэффитсиенти тавсеаи терминали гармӣ.
● сахтӣ: Бо рейтинги сахтии40 ГПа, молидани SiC мо ба таъсири назаррас ва абрешим тоб меорад.
● ба итмом расонидани -Бои сатҳи замин: Таъмини ороиши ба оина монанд, коҳиш додани тавлиди зарраҳо ва баланд бардоштани самаранокии амалиёт.
Барномаҳо
Семиера Сарпӯши SiCдар марҳилаҳои гуногуни истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, аз ҷумла:
● -Истеҳсоли чипҳои LED
● -Истеҳсоли полисиликон
● -Афзоиши кристаллҳои нимноқил
● -Кремний ва эпитаксия SiC
● -Оксидшавии гармӣ ва диффузия (TO&D)
Мо ҷузъҳои SIS-ро аз графикаи сершумқатсионӣ, ки аз графикаи қубури карбонат сохта шудаанд, карбонондидарид карда мешавандSTC-TCS, консентресҳои сегмени CZ, ки ба киштии Шико, қаиқҳои SICWAFERACH, SICFOFER TUBE ва CORMIRS дар PECVD, равандҳои MOCVD истифода мешаванд.
Манфиатҳо
● -Мӯҳлати умри дароз: Хароҷоти таҷҳизоти нопурра ва нигоҳдорӣ ба таври назаррас коҳиш медиҳад, баланд бардоштани самаранокии умумии истеҳсолот.
● -Беҳтар кардани сифат: Сатҳи тозагии баландро барои коркарди нимноқилҳо ба даст оварда, сифати маҳсулотро баланд мебардорад.
● - Баланд бардоштани самаранокӣ: Талтаро равандҳои гармидиҳӣ ва CVD-ро оптимизатсия мекунад, ки дар натиҷа вақтҳои тезтари давраҳо ва ҳосили баландтар мегардад.
Нишони техникӣ
● -Сохтор: FCC фазаи β поликристалл, асосан (111) нигаронида шудааст
● -Зичии: 3,21 г/см³
● -ҳилиён: 2500 сахтии Vickes (бори 500г)
● -Мустаҳкамии шикаста: 3,0 МПа·м1/2
● -Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● Модулҳои -Бастӣ (1300℃):435 GPa
● Ғафсии филми филм:100 мкм
● -ноҳамвории сатҳи:2-10 мкм
Маълумоти тозагӣ (бо усули спектроскопияи оммавии разряд чен карда мешавад)
| Элемент | саҳм | Элемент | саҳм |
| Li |
| Cu | <0,01 |
| Be |
| Zn | <0,05 |
| Ал | <0.04 | Ga | <0,01 |
| P | <0,01 | Ge | <0,05 |
| S | <0.04 | As | <0,005 |
| K | <0,05 | In | <0,01 |
| Ca | <0,05 | Sn | <0,01 |
| Ti | <0,005 | Sb | <0,01 |
| V |
| W | <0,05 |
| Cr | <0,05 | Te | <0,01 |
| Mn | <0,005 | Pb | <0,01 |
| Fe | <0,05 | Bi | <0,05 |
| Ni | <0,01 |
|
