RTPҳалқаҳои CVD SiCдар соҳаҳои саноатӣ ва илмӣ дар ҳарорати баланд ва муҳити зангзананда ба таври васеъ истифода мешаванд. Он дар истеҳсоли нимноқилҳо, оптоэлектроника, мошинсозии дақиқ ва саноати химия нақши муҳим мебозад. Барномаҳои мушаххас инҳоро дар бар мегиранд:
1. Истеҳсоли нимноқилҳо:ҳалқаҳои RTP CVD SiCбарои гарм кардан ва хунук кардани тачхизоти нимнокил истифода бурдан мумкин аст, ки назорати муътадили хароратро таъмин намуда, дурустй ва муттасил будани процессро таъмин мекунад.
2. Оптоэлектроника: Аз сабаби гузаронандагии аълои гармидиҳӣ ва муқовимати ҳарорати баланд, RTPҳалқаҳои CVD SiCметавонад ҳамчун маводи дастгирӣ ва паҳншавии гармӣ барои лазерҳо, таҷҳизоти алоқаи нахи оптикӣ ва ҷузъҳои оптикӣ истифода шавад.
3. Мошинҳои дақиқ: ҳалқаҳои RTP CVD SiC метавонанд барои асбобҳо ва таҷҳизоти дақиқ дар муҳити ҳарорати баланд ва зангзананда, ба монанди печҳои ҳарорати баланд, дастгоҳҳои вакуумӣ ва реакторҳои кимиёвӣ истифода шаванд.
4. Саноати кимиё: Аз сабаби муқовимат ба зангзанӣ ва устувории кимиёвӣ, ҳалқаҳои RTP CVD SiC метавонанд дар контейнерҳо, қубурҳо ва реакторҳо дар реаксияҳои кимиёвӣ ва равандҳои каталитикӣ истифода шаванд.
Системаи Epi
Системаи RTP
Системаи CVD
Иҷрои маҳсулот:
1. Вохӯред раванди поён 28nm
2. Муқовимат ба зангзании супер
3. Иҷрои Super тоза
4. Сахтии олӣ
5. Зичии баланд
6. Муқовимат ба ҳарорати баланд
7. Муқовимат ба фарсудашавӣ
Аризаи маҳсулот:
Маводҳои карбиди кремний дорои хусусиятҳои сахтии баланд, муқовимати фарсудашавӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва устувории ҳарорати баланд доранд. Маҳсулоти дорои иҷрои аълои ҳамаҷониба дар равандҳои хушк ва TF/Diffusion ба таври васеъ истифода мешаванд.
Иҷрои маҳсулот:
1. Вохӯред раванди поён 28nm
2. Муқовимат ба зангзании супер
3. Иҷрои Super тоза
4. Сахтии олӣ
5. Зичии баланд
6. Муқовимат ба ҳарорати баланд
7. Муқовимат ба фарсудашавӣ
Рушди равандҳои таркибӣ:
Графит + Сарпӯши Sic
CvD сахт
Синтершудаи SiC+CVD
SicSintered SiC
Рушди намудҳои гуногуни маҳсулот:
ҳалқа
Ҷадвал
Сусептор
Сарвари душ
