Ҷойгиркунии қабати атомӣ (ALD) як технологияи таҳшинсозии буғи химиявӣ мебошад, ки филмҳои тунукро қабат ба қабат тавассути ворид кардани ду ё зиёда молекулаҳои пешгузашта парвариш мекунад. ALD дорои бартариҳои идорашавандаи баланд ва якранг буда, онро дар дастгоҳҳои нимноқилӣ, дастгоҳҳои оптоэлектронӣ, дастгоҳҳои нигоҳдории энергия ва дигар соҳаҳо васеъ истифода бурдан мумкин аст. Принсипҳои асосии ALD адсорбсияи прекурсорҳо, реаксияи рӯизаминӣ ва хориҷ кардани маҳсулоти иловагиро дар бар мегиранд ва маводи бисёрқабатаро тавассути такрори ин қадамҳо дар як давра ташкил кардан мумкин аст. ALD дорои хусусиятҳо ва бартариҳои баланд идорашаванда, якрангӣ ва сохтори нокифоя буда, метавонад барои таҳшин кардани маводи гуногуни субстрат ва маводҳои гуногун истифода шавад.
ALD дорои хусусиятҳо ва бартариҳои зерин аст:
1. Назорати баланд:Азбаски ALD раванди афзоиши қабат ба қабат аст, ғафсӣ ва таркиби ҳар як қабати маводро дақиқ назорат кардан мумкин аст.
2. Якхела:ALD метавонад маводҳоро дар тамоми рӯи замин яксон гузорад ва аз нобаробарӣ, ки дар дигар технологияҳои таҳшинкунӣ рух дода метавонад, пешгирӣ кунад.
3. Сохтори ғафс:Азбаски ALD дар воҳидҳои атомҳои ягона ё молекулаҳои ягона ҷойгир карда мешавад, плёнкаи натиҷавӣ одатан сохтори зиччи ва ғайримоддӣ дорад.
4. Фаъолияти фарогирии хуб:ALD метавонад ба таври муассир сохторҳои таносуби баландро фаро гирад, ба монанди массивҳои нанопур, маводи ковокӣ ва ғайра.
5. Миқёспазирӣ:ALD метавонад барои маводҳои гуногуни субстрат, аз ҷумла металлҳо, нимноқилҳо, шиша ва ғайра истифода шавад.
6. Фарқият:Бо интихоби молекулаҳои пешгузаштаи гуногун, метавонад дар раванди ALD маводи гуногун, ба монанди оксидҳои металлӣ, сульфидҳо, нитридҳо ва ғ.
