Вафли 6 дюймаи нимизолятсияи HPSI SiC-и Semicera барои қонеъ кардани талаботи шадиди технологияи муосири нимноқил тарҳрезӣ шудааст. Бо покӣ ва устувории истисноӣ, ин вафлиҳо ҳамчун заминаи боэътимод барои таҳияи ҷузъҳои электронии баландсамара хизмат мекунанд.
Ин пластинкаҳои HPSI SiC бо гузаронандагии барҷастаи гармидиҳӣ ва изолятсияи электрикӣ маъруфанд, ки барои беҳтар кардани кори дастгоҳҳои барқ ва схемаҳои баландбасомад муҳиманд. Хусусиятҳои нимизолятсия барои кам кардани дахолати барқ ва ҳадди аксар самаранокии дастгоҳ кӯмак мекунанд.
Раванди босифати истеҳсолие, ки аз ҷониби Semicera истифода мешавад, кафолат медиҳад, ки ҳар як вафли якхела ғафсӣ ва камтарини нуқсонҳои рӯизаминӣ дорад. Ин дақиқ барои барномаҳои пешрафта, ба монанди дастгоҳҳои басомади радио, инвертерҳои барқ ва системаҳои LED, ки дар он кор ва устуворӣ омилҳои калидӣ мебошанд, муҳим аст.
Бо истифода аз технологияҳои муосири истеҳсолӣ, Semicera вафлиҳоро таъмин мекунад, ки на танҳо ба стандартҳои саноатӣ мувофиқат мекунанд, балки аз онҳо зиёдтаранд. Андозаи 6 дюймӣ чандирӣ барои васеъ кардани истеҳсолот, қонеъ кардани барномаҳои тадқиқотӣ ва тиҷоратӣ дар бахши нимноқилҳоро пешниҳод мекунад.
Интихоби 6 дюймаи нимизолятсияи HPSI SiC Wafers Semicera маънои онро дорад, ки сармоягузорӣ ба маҳсулоте, ки сифат ва иҷрои устуворро таъмин мекунад. Ин вафлиҳо як қисми ӯҳдадориҳои Semicera барои пешбурди имкониятҳои технологияи нимноқилҳо тавассути маводҳои инноватсионӣ ва ҳунари дақиқ мебошанд.
| Ададҳо | Истехсолот | Тадқиқот | Думё |
| Параметрҳои кристалл | |||
| Политип | 4H | ||
| Хатогии самти рӯизаминӣ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Параметрҳои электрикӣ | |||
| Допант | Нитроген навъи n | ||
| Муқовимат | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Параметрҳои механикӣ | |||
| Диаметр | 150,0±0,2мм | ||
| Ғафсӣ | 350±25 мкм | ||
| Самти ибтидоии ҳамвор | [1-100]±5° | ||
| Дарозии ибтидоии ҳамвор | 47,5±1,5мм | ||
| Квартираи дуюмдараҷа | Ҳеҷ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| камон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Варп | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Ноҳамвории пеши (Si-чеҳра) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Сохтор | |||
| Зичии микроқубур | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Офтобҳои металлӣ | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 д/см2 | ≤3000 д/см2 | NA |
| TSD | ≤500 эа/см2 | ≤1000 эа/см2 | NA |
| Сифати пеш | |||
| Пеш | Si | ||
| Андозаи рӯизаминӣ | Си-чеҳраи CMP | ||
| Зарраҳо | ≤60ea / вафли (андоза≥0.3μm) | NA | |
| Харошидан | ≤5ea/мм. Дарозии ҷамъшуда ≤ Диаметр | Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA |
| Пӯсти афлесун / чоҳҳо / доғҳо / рахҳо / тарқишҳо / олудашавӣ | Ҳеҷ | NA | |
| микросхемаҳои Edge / indents / шикаста / заррин шонздаҳӣ | Ҳеҷ | ||
| Минтақаҳои политипӣ | Ҳеҷ | Майдони ҷамъшуда≤20% | Майдони ҷамъшуда≤30% |
| Аломати лазерии пеши | Ҳеҷ | ||
| Сифати бозгашт | |||
| Бозгашт ба анҷом | C-чеҳраи CMP | ||
| Харошидан | ≤5ea/mm,Дарозии ҷамъшуда≤2*Диаметр | NA | |
| Нуқсонҳои қафо (чипҳои канорӣ/интентҳо) | Ҳеҷ | ||
| Ноҳамвории пушти сар | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Нишондиҳии лазерии қафо | 1 мм (аз канори боло) | ||
| Edge | |||
| Edge | Чамфер | ||
| Бастабандӣ | |||
| Бастабандӣ | Эпи-тайёр бо бастаи вакуумӣ Бастабандии кассетаи бисёрвафли | ||
| *Эзоҳҳо: "NA" маънои ҳеҷ гуна дархостро надорад Ададҳои зикрнашуда метавонанд ба SEMI-STD ишора кунанд. | |||
